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原子层沉积:原则、特点、和纳米技术应用,第二版

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原子层沉积:原则、特点、和纳米技术应用,第二版

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描述

第一版于2008年出版以来,原子层沉积(ALD)已成为一个强大的,有时候喜欢,沉积技术。这个开创性的专著的新版本是第一个文本审查ALD从实用的角度全面的主题。它涵盖了ALD微电子(MEMS)和纳米技术的应用;许多重要的新的和新兴应用程序;热过程ALD生长半导体纳米厚的电影,氧化物,金属氮化物;和有机的形成和混合材料。欧洲杯足球竞彩

确认第九

前言ξ

前言十三世

1原子层沉积原理1

1.1化学蒸汽沉积1

1.1.1热化学汽相淀积2

1.1.2等离子体增强化学汽相淀积(PECVD) " 5

1.2蒸汽吸附6

1.3原子层沉积(ALD) 10

参考文献29

2元素半导体外延薄膜33

2.1外延硅33

引用49

3 III-V半导体电影51

3.1砷化镓51

3.2其他III-V半导体电影63

3.3应用程序64

引用65年

4氧化物电影67

4.1介绍67

4.2氧化铝68

4.3二氧化钛81

4.4氧化锌96

4.5二氧化锆101

4.6二氧化铪107

4.7其他氧化物112

4.8混合氧化物和Nanolaminates 124

4.9多层150

引用151年

5氮化物和其他化合物161

5.1介绍161

5.2氮化物162

5.3硫属化合物176

5.4其他化合物179

引用179年

金属183

6.1介绍183

6.2贵金属184

6.3钛193

6.4钽196

6.5铝198

6.6铜200

6.7其他过渡金属203

引用204年

207年7有机和混合材料欧洲杯足球竞彩

7.1介绍207

7.2有机层208

7.3混合有机-无机层。209

7.4应用程序的有机和混合电影212年

引用213年

8 ALD和行业应用215

8.1介绍215

8.2 MEMS / NEMS 217

8.3薄膜磁头223

8.4涂层纳米颗粒,纳米材料和多孔欧洲杯猜球平台对象224欧洲杯足球竞彩

8.5光学涂层226

8.6薄膜电致发光显示228

8.7太阳能电池229

8.8防腐层231

8.9 234年有机电子的机会

8.10“肾上腺脑白质退化症”的工具制造商和236年涂料供应商

引用238年

指数243