利用光谱学测量和表征薄膜

涂层的光学厚度由白光干涉确定,并用数学计算将图案转换为光学厚度。

在薄膜计量学中,这些数学计算用于确定已经使用各种方法沉积在基底材料上的涂层的厚度和存在。

有许多技术用于这个测量范围,包括椭偏仪,轮廓仪,光谱反射仪和x射线分析。光纤采样工具和Avantes仪器支持光谱反射测量,支持从太阳能到半导体和光学涂层测量等一系列行业的应用。Avantes薄膜解决方案为多种基材上的多层和单层薄膜提供了低成本的测量系统。

薄膜质量控制

薄膜沉积过程需要定期监测和质量控制,特别是新配方的实施和优化的涂层设施。

典型应用在需要高速离线测量系统的初始阶段期间需要定期质量控制检查,以验证胶片厚度。

Avantes薄膜溶液使高速点测量能够促进薄膜存在和厚度验证。

薄膜反射测量仪

在光谱反射法中,样品用白光,特别是卤化氘和卤化钨以垂直于样品的入射角照射,然后测量同一几何形状的反射率和干涉。

根据可见光、紫外或红外涂层的性质,可能需要进行波长测量,以获得相对于理论反射率曲线的正确拟合。

利用光学常数n和k数据库建立了理论曲线。折射率为n值,消光系数为k值。首先,取样过程包括测量一个参考的未涂覆的基材,然后使用相同的条件进行样品测量。

衬底特性(如厚度和材料)与薄膜层特性一起是软件输入。

软件算法用于捕获和分析软件算法,该算法将测量数据与从光学常量数据库派生的理论计算值进行比较。

该软件提供计算的厚度值以及相对于理论曲线的良好度的衡量标准。

单层薄膜计量

来自Avantes的单层薄膜计量系统包括其AvaSpec -ULUS2048-USB2光纤光谱仪,Avalight-DHC / Avalight-DH-S氘 - 卤素光源或Avalight-Hal Tungsten卤素光源,FCR-7UV200-2-ME(可选FCR-7UV400-2-ME用于较高的产量)光纤反射探头和薄膜阶段。

Avantes的AvaSoft Thinfilm软件驱动单层系统,是一个32或64位的应用程序,支持单层薄膜的测量,长度从10nm-50µm,分辨率为1nm。

UV / VIS和NIS波长测量由Avasoft-ThinFilm Unc 200-1100nm支持。该系统具有可选的薄膜标准,可提供用于验证目的的涂覆和未涂覆的样品基板。Avalight DHC Compact Deuterium卤素源适用于大多数镜面UV测量,但对于更多漫射涂层表面,建议使用较高的功率Avalight-DH-S.

多层薄膜计量

Avantes’ multi-layer thin film metrology system includes the company’s AvaSpec-ULS2048-USB2 fiber-optic spectrometer, AvaLight-DHc/AvaLight-DH-S deuterium halogen light source or AvaLight-HAL tungsten halogen light source, the FCR-7UV200-2-ME (optional FCR-7UV400-2-ME for higher throughput) fiber-optic reflection probe and its thin film stage. The TFProbe 2.0 is the software that drives the multi-layer system and has been developed by Angstrom Sun Technologies and is fully compatible with Avantes spectrometers.

本申请支持最多五层测量,并支持几种方法,包括色散,NK常数和有效媒体近似(EMA)。TFProbe提供了一个用户友好的图形用户界面,可输入层结构参数。

可选的薄膜标准可以包括在系统中,为验证目的提供样品涂层和非涂层基材。TFProbe支持200-1700 nm的UV/VIS和NIR波长,支持多光谱仪的连接,以支持这种宽带波长测量能力。

AvaLight-DHc紧密型氘卤素源足以用于大多数镜面UV测量,但对于更漫反射涂层表面,建议使用更高的功率AvaLight-DH-S。

此信息已采购,从Avantes BV提供的材料进行审核和调整。欧洲杯足球竞彩

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    先锋派的BV。(2020年6月23日)。利用光谱学测量和表征薄膜。AZoM。2021年6月24日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=10516获取。

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    先锋派的BV。2020。利用光谱学测量和表征薄膜。AZoM, 2021年6月24日观看,//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=10516。

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