Dektakxt Surface Profilers的自动步骤检测功能

DektakXT铁笔廓线仪，通过数百微米提供准确的台阶高度测量从几纳米，具有可重复性下降到7.5埃。一个独特的步骤检测功能现在包括在所有DektakXT表面轮廓仪来自动定位和测量的单个或多个台阶高度。步骤检测是在重复的测量是对等的样品进行的应用特别有用。

本文档介绍了如何使用自动步骤检测快速，可重复的步长测量。

自动检测步

大多数手写笔分析器都需要操作员手动设置各个步骤测量的测量位置和参数 - 具有低重复性的耗时操作。

Dektakxt Step检测允许您将参数设置为自动屏蔽数据，检测多个步骤，并测量它们的高度，如图1所示。这些参数确保正确测量每个步长度，而不管扫描的开始和结束点，而且没有从扫描之间的操作员进行干预。

图1。多步与步检测软件自动测量。实测值边缘被示出为绿色的点。

步骤检测工作如何

步骤检测算法遵循以下步骤：

1. 进行测量。
2. 数据将根据您的设置进行平滑和升级。
3. 根据您的设置检测和测量每个步骤。

该平滑，光标位置和步骤说明的设置极大地影响的步骤，该算法将找到的数量。细心的设置会导致最准确的步长探测和分析计算。

设置步骤检测

图2显示了横跨表面步骤的典型扫描大约1μm高，宽度为700μm。样品略微倾斜，上表面和下表面上的大约60°粗糙度。步骤检测将自动级别和平滑这样的数据以获得精确的步高测量。

图2。一个步骤的典型原始扫描。

为了进行步进测量，通过拍摄要测量的特征的样本扫描来开始。从此扫描，您可以确定正确的扫描长度，垂直测量范围，触笔力和实现所需水平分辨率所需的数据点数。

知道这些正确的值，扫描步骤。

接下来，选择“分析”>“步骤检测”以打开“步进检测参数”屏幕。您还可以右键单击绘图摘要或扫描摘要屏幕。“常规设置”选项卡（图3）包括整体扫描和数据级别的参数。每个步骤和第一步选项卡（图4和5）显示了定义有效步骤并确定要报告的参数的参数。

图3.。步骤检测常规设置。每个设置（右）自动调平参数。

图4.。每一步设置。

图5。第一步设置

通用设置

1. 检测方法。对于大多数应用，每一步方法被使用，以自动检测和测量扫描长度中的每一个步骤。第一步方法将测量只在第一步骤中遇到。
2. 检测范围确定将用于有效的步骤来分析扫描的部分。在图3中，只有扫描，其中感兴趣的特征的位置，第一2000μM进行分析。
3. 检查自动找平之前步骤分析水平扫描数据。的R和M光标参数限定相对于游标位置以找到的第一个边缘（不一定是步骤）中，距离边缘，和宽度，按照图4。这些光标设置仅适用于整平，不进行数据分析。通常将R光标放置在第一边缘之前，和M个光标如下的边缘。
4. 选中启用步骤检测，然后单击“应用”以分析当前数据集。屏幕将更新以显示当前数据的步骤分析。
5. 查询保存更改扫描程序来执行步骤的检测，使用当前设置，每使用当前扫描程序的时间。

每一步设置

点击每一步选项卡设置以下参数：

1. 平滑确定相邻数据点之间的最小斜率变化将被视为“边缘”。较小的平滑值会增加对较小步骤的敏感性;更大的值滤波器噪声限制分析不同的井下线。
2. 最小和最大的台阶高度在每个两侧的步骤的检测算法的地方游标发现“边缘”的基础上在解析函数光标设置框（下文）。如果这些光标之间的灰落在这些最小值和最大值内，边缘会被视为一个有效的一步。
3. “+步骤”和“-Steps”允许您选择分析正面（参考文献上方）和/或负面步骤（参考文献下方）。
4. 分析函数定义每个有效步骤会报告哪个分析参数。选中应报告的每个分析的框。设置距离R和M光标的步骤，相对于步骤的前沿。请注意，每个分析都可以具有自己的光标位置。对于平均步长（ASH）计算，您还可以设置光标宽度以确定沿每个步骤的顶部和底部平均扫描数据的平均数量。
5. 检查计算平均在所有有效步骤报告平均每个选定的参数。此功能是用于表征的V形槽的深度或凸块的阵列中的高度为传统的台阶高度是特别有用的，以及。

第一步设置

有时您可能希望使用多组光标位置分析一步。在这种情况下，您将在常规设置下检查第一个步骤方法，然后单击“第一个步骤”选项卡以设置以下参数：

1. 平滑确定相邻数据点之间的最小斜率变化将被视为“边缘”。较小的平滑值会增加对较小步骤的敏感性;更大的值过滤噪声，以限制分析以不同的明确定义的步骤。
2. 步骤说明定义了有效步骤的预期高度和宽度，所述给定容差之内。
3. 距离至步骤和频带宽度设置位置和分析的R宽度和M光标，相对于步骤的前缘。
4. “+步骤”和“-Steps”允许您选择分析正面（参考文献上方）或负面步骤（以下引用下方）。
5. 分析函数定义每个有效步骤会报告哪个分析参数。将R和M光标的位置相对于步骤的前沿设置。对于每个分析，您可以定义多达十组光标位置和宽度，以分析变化距离的步骤。
6. 检查计算平均值以报告所有游标中每个所选参数的平均值。

输入所有参数后，单击“应用”或“确定”以显示每个有效步骤的测量参数（图6）。

图6。步骤检测后扫描配置文件。黄线平滑后显示数据。

图6显示了步骤检测分析后图2的数据。扫描轮廓已经升级，已经检测到步骤，并且已经计算了平均步进高度（灰分）。

自动化步骤测量是用于在晶片或基板上确定单个和多个步骤的高度或深度的有价值的工具。编程步骤测量序列的能力大大减少了测量时间以及操作员到操作者的可变性。只有Dektakxt Stylus Profilers为快速，准确的步高评估提供这种独特的能力。

此信息已采购，审查和调整Bruker纳米表面提供的材料。欧洲杯足球竞彩

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