背散射电子成像扫描电镜的形貌和成分分析

在EBSD分析中，背散射电子的强度和方向取决于样品的形貌和成分。样品材料的原子序数(Z)、原束的加速度电压和样品与原束的角度(倾斜)是影响后向散射电子图像对比度的主要因素。

样本角度是理解地形成像的主要参数。现象Phenom SEM背向散射检测器安装在靠近样品的物镜下。探测器被分成四个象限。

地形成像

背散射电子图像中包含的两类信息可以通过对相反象限的电子配对来分离。可以获得样品成分和形貌的信息。这两张图片来自同一材质，其构图模式如图1所示，地形模式如图2所示。

图1。合成模式下的BSE成像

图2。地形模式下的BSE成像

象限的减法将提供地形信息，并成对操作检测器象限，然后添加信号，将提供样品的组成信息。旋转信号配对使操作者能够有效地从两个不同的方向(从上到下和从左到右)照射样品。

图3显示了合成全模式的原理，其中所有象限都处于活动状态。

图4显示了地形B模式原理，它表明了过欠照明能力。

上下模式的使用会显示出强烈的阴影效果，就像太阳照在物体上一样，可以在两张对应的图像中看到。两幅图像都显示了字母“S”(样本-西班牙欧元硬币)的构图(全)模式，如图5所示，以及地形B模式，如图6所示。两种模式之间的切换是通过软件完成的。

图3。Phenom检测系统在组合(全)模式下的示意图表示

图4。天工探测系统在地形模式下的示意图表示

图5。字母S（欧元硬币）在合成成像模式下的图像

图6。地形成像模式下字母S（欧元硬币）的图像

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