使用透射菊池衍射作为基于SEM的方法

最近，透射菊池衍射(TKD)方法作为一种基于sem的技术被建立起来，它可以提供类似于EBSD的结果，但在空间分辨率上可以提高一个数量级。

现有的EBSD硬件和软件可以与TKD技术一起使用，但是，它需要电子透明的样品，如晶体纳米颗粒、独立薄膜和TEM薄片。欧洲杯猜球平台

Bruker了解TKD技术的能力，并将其集成到QUANTAX EBSD系统中。TKD模式在全税EBSD易于使用，便于各级用户获取高质量数据。Bruker为QUANTAX EBSD设计了一种特殊的样品架，允许结合EDS分析和TKD分析。

跆拳道专业的工具箱

Bruker提供的TKD Professional Toolkit可将TKD分析与EDS测量进行耦合。该工具包的关键要素是专门设计的TKD样品架，它便于处理TEM网格上制备的任何类型的薄样品，并允许在3mm的工作距离下进行测量。

样品夹的夹具设计，便于固定和处理易碎的样品，如薄样品。图1和图2分别表示卡箍在“打开”和“关闭”位置。其创新设计允许结合TKD/EDS测量，没有阴影效应，并防止碰撞风险，即使在非常低的样品到探测器的距离操作。

图1。带开口夹的TKD样品架

图2。TKD样品夹，夹紧

TKD校准助理

图案中心校准算法经过微调，以在TKD几何体中提供最佳性能，即图案中心的PCy坐标值接近于零甚至为负。模式中心校准步骤是完全自动的。

细晶硅层的分析

使用的样品是沉积在玻璃衬底上的超细晶硅薄膜。EBSD结果是在7kV EHT下使用30nm步长获得的（图3）。TKD结果是利用30kV的波束加速度和11nm的步长获得的（图4）。结果中未使用数据清理。从结果可以看出，TKD方向图比EBSD方向图具有更好的分辨率和质量。

图3。硅薄膜的标准EBSD取向图

图4。同一样品的TKD方向图

传输模式下的FSE图像

同样，在使用该方法获得的高变形纯铝样品的前散射电子（FSE）图像中，可以观察到分辨率的大幅提高阿古斯™ FSE/BSE成像系统。图5显示了通过变形过程产生的一系列带有位错壁网络的晶粒。图6描绘了更高放大倍数的图像，其中个别的位错被突出显示。

图5。传输模式下显示错位墙网络的FSE图像（高亮显示）

图6。透射模式下获取的FSE图像，单个位错突出显示

这些信息来源于布鲁克纳米分析公司提供的材料。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问布鲁克纳米分析．