通过智能样品制备方法提高电子工业的质量控制效率

样品显微分析的靶向显微切片是必不可少的，特别是在电子工业中，对于质量控制和失效分析，以及在研究和生产控制目的。如果样品的表面足够平坦，或者要击打的特征是在一个类似的平面上，一个能够处理大量多个样品的复杂的微切片系统是首选。其中一个系统是用于通镀孔质量控制的比勒PWB-Met系统。

智能样品制备方法

传统的样品制备方法存在样品通量低、结果不一致和交叉污染等缺点。这些问题可以通过采用相对直接的准备方法的改进方法来解决。首先定义样品底部与最终感兴趣的水平之间的距离，然后手动研磨，直到达到一个接近感兴趣的水平。下一步是自动抛光，在机器上设置的参数控制材料去除。这种智能样品制备方法的原理图如图1所示。

图1所示。样品的制备水平

由于第一步通常相对较快，所以即使手动执行也不会花费太多时间。剩下的步骤实际上是时间密集型的，在改进的方法中是自动执行的，这意味着一次多个样本。以下是自动化制备的优点:

• 缩短了每个样品的总处理时间
• 显著提高了样品质量和结果的均匀性
• 改进的结果，不管操作人员的经验水平
• 制备能力显著提高

本文采用改进的方法制备了CSP (Chip Scale Package)样品。

芯片规模计划

对于CSP，第一个手动步骤的持续时间取决于操作者的判断。如果目标与安装的样品底部距离太远，可以使用较粗的180 (P180)或240 (P280)碳化硅砂纸。对于相对较短的已知距离，可以使用320 (P400)碳化硅砂纸。正常情况下研磨大约需要2-3分钟。示例的绘图和概述如图2和3所示。

图2。CSP-BGA的制备水平示意图

图3。示例概述。已知距离显示在CSP-BGA上;最佳止动水平在距边缘0.7mm的水平处。

一旦达到这个水平，“下一排”的遥远市场将在现有的磨削平面上，表明目标的接近程度(图4)。600(P1200)金刚砂(图5)通常用于多样品的半自动磨削。将四个半成品样品(图6)装入Metaserv 250/矢量磨床/抛光机的单力夹持器中，开始磨削循环。EcoMet/AutoMet 250/300的6个单力手指可以同时制备6个样品。延长研磨时间会导致失去目标。

图4。用320 (P400)碳化物SiC砂纸几乎可以看到目标，在当前的磨削平面下可以看到模糊的焊球轮廓。

图5。来自Grit 600/P1200 CarbiMet SiC纸的像样的划痕图案;50 x

图6。4个单力夹持器(L)半成品样品;Metaserv 250/矢量磨床/抛光机(R)自动磨削。

下一步是在VerduTex布料或TriDent布料上使用3µm MetaDi Diamond Suspension进行自动抛光(图7)。这个过程大约需要3分钟完成。最后用MasterPrep在ChemoMet布上进行大约两分钟的抛光(图8)。金属间化合物层如图9和10所示。表1总结了完整的样品制备方法和参数。

图7。VerduTex 3um整理:100x(L);200 (R)

图8。Final Polishing with MasterPrep on ChemoMet (L) Final Polishing Result;200 x

图9。焊点处的金属间化合物须;1000 x

图10。金属间化合物晶须的扫描电镜图

表1。CSP的制备方法

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环氧树脂和25mm样品

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Metaserv 250/矢量单力Holder: 4 x 25毫米和10”压板

表面/研磨	头/基地(rpm)	头的方向	部队(磅)	每步时间(分钟)	每个样本所需时间*(最少)	**每个样本所需时间(最小)
320 (P400)毅力CarbiMet	150	零	零	3.	3.	3.
600 (P1200)毅力CarbiMet	60/150	电脑及相关知识	3.	1．5	0．4	０．３
VerduTex 3ìm Metadi钻石悬挂	60/150	电脑及相关知识	5	3.	0．8	0．5
ChemoMet 0.05ìm MasterPrep抛光悬浮液	60/150	电脑及相关知识	2	2	0．5	０．３
总时间			10	> 5	＞4

*矢量单力持有人允许自动制备的灵活性多达4个样品
**AutoMet 250/300磨床/抛光机允许自动制备多达6个样品的灵活性

结论

根据上面讨论的步骤，在开发一个完全成功的食谱之前，第一步需要充分的实践和经验来达到已知的距离。320 (P400)金刚砂通常用于已知距离超过100µm的磨削2-3分钟，使磨削水平接近感兴趣的水平。600(P1200) CarbiMet颗粒在60µm以下的已知距离较好，但其去除率相对较慢。

如果任何已知的距离低于上述范围，瞄准必须仔细执行，以防止过度研磨。如果该设备是由一些非常脆弱的材料组成，如砷化镓，建议使用更好的SiC纸，以减少严重的损害。欧洲杯足球竞彩每10秒用光学显微镜监测磨削水平始终是一种安全的做法。

虽然该过程的其余部分是自动执行的，但需要一些初始工作来识别正确的参数。然而，单力模式使操作人员能够停止放置并分析样品，从而促进了这一过程。一旦完成，重复这个过程就容易得多，因此每个样品至少节省10分钟，以更低的成本生产更多的均匀的样品。

这些信息已经从比勒提供的材料中获得、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问比勒．