检测化学机械抛光中的大颗粒（CMP欧洲杯猜球平台）

利用CMP浆液抛光是微电路制造的重要组成部分。为了保证CMP浆体的健康，需要对其进行粒径分布(PSD)测量，这是提高设备产率的关键参数。

除了测量PSD的平均尺寸外，监测方法必须能够检测由于CMP递送系统或化学的变化或施加的剪切力而导致由粒子污染或聚集引起的尾部的存在。理想的表征系统必须能够提供精确的大粒子计数（LPC）值。

粒子大小/计数技术

利用激光衍射和动态光散射等光散射技术可以获得颗粒的粒径和分布数据，但没有任何有意义的浓度数据。

粒欧洲杯猜球平台子分别由单粒子光学施胶（SPOS）通过使它们通过窄测量室，从而提供精确的尺寸和浓度数据。SPOS的高分辨率使检测从主要分布中剥离的单个颗粒，使得能够检测影响CMP浆料健康的LPC。欧洲杯猜球平台斯科斯州是一个实验室和使用点（POU）仪器。

装甲范围的系统

诸如Entegris Accusizer的帮助下有效地确定大粒子尾，其可以在全浓度或自动稀释时进行测量以改善实验条件。图1显示了新的Entegris Accusizer FX系统（POU系统）可以在较高浓度下测量较小颗粒的大小。欧洲杯猜球平台

图1所示。新的entegris Accusizer FX系统

新的FX传感器有更好的浓度限制，因为在聚焦光束的帮助下，分析的总体积减少了。因此，可以在不稀释的情况下进行测量。FX传感器可以测量0.65-20 μ m的尺寸范围，浓度比标准消光或散射传感器高200倍。它可能显示的结果在512大小通道。

除了用作实验室或POU仪器外，该系统可以安装在FX塔系统中，以通过传感器/计数器复用四个CMP浆料流。通过所有这些配置，可以获得CMP浆液的准确和可靠的LPC数据。指责剂是CMP浆料测定LPC>0.5μm的经过验证的系统。在图2中，比较了不同的技术以确定已知的1μMSIO浓度₂掺欧洲杯猜球平台入二氧化硅氧化物CMP浆料的颗粒。扰动检测限Accusizer（旧型号780）被发现为0.07mg /升。

图2。微扰检测分析:一种比较测量CMP浆中大颗粒存在的仪器的方法欧洲杯猜球平台

LPC检测

在该实验中，1μM聚苯乙烯胶乳（PSL）球体用于刺捕一些常见的二氧化硅CMP浆料以证实CMP浆液中测定1μM颗粒的能力。欧洲杯猜球平台在确定尺寸和浓度的情况下，然后使用拟合蛋白FX POU系统稀释刺穗颗粒以进行随后的分析，其具有0.65-20μm的FX欧洲杯猜球平台传感器。

结果1

将浆液A稀释至250:1，以确保测量值落在符合区域之外。然后将250mL样品悬液加入1.44mL 1000倍稀释的PSL原液(1.74 × 10)中⁷/mL)，加标至100,000/mL。结果如图3、表1和表2所示。

图3。1µm钉前(蓝色)和1µm钉后(红色)

表格1。秒杀之前的结果

直径范围（微米）	#部分。大小(# /毫升)	和Num > =直径。(# /毫升)
0.70 - 0.72	1107410	2637543
0.72 - 0.77	738493	1530133
0.77 - 0.82	372885	791640
0.82 - 0.87	203005	418755
0.87 - 0.92	100429.	215749.←
0.92 - 0.98	54625.	115320.
0.98 - 1.04	32665	60695
1.04 - 1.11	13392	28030
1.11 - 1.18	7375	14639
1.18 - 1.25	4147.	7264
1.25 - 1.33	1762年	3117.
1.33 - 1.41	709	1355
1.41 - 1.50	213.	645.
1.50 - 1.60	60	432.
1.60 - 1.70	88.	372

表2。灌浆:灌浆后的结果

直径范围（微米）	#部分。大小(# /毫升)	和Num > =直径。(# /毫升)
0.70 - 0.72	1005006	2484223
0.72 - 0.77	633343	1479216
0.77 - 0.82	343434	845874
0.82 - 0.87	183631	502439
0.87 - 0.92	96589	318808.←
0.92 - 0.98	53409.	222219
0.98 - 1.04	82906	168810
1.04 - 1.11	64733	85904
1.11 - 1.18	11916.	21172
1.18 - 1.25	4192	9256.
1.25 - 1.33	2477	5064
1.33 - 1.41	939	2587
1.41 - 1.50	371	1647.
1.50 - 1.60	171	1776年
1.60 - 1.70	0	1105

结果2

这里，FX POU系统用于测量二氧化硅浆液B而不稀释（图4）。测量的浓度为约20,000颗粒/ ml。欧洲杯猜球平台然后，57μl的1000×稀释1μmpsl标准（浓度= 1.74 x 10⁷将欧洲杯猜球平台颗粒/ ml）加入到200ml的原始浆料中以刺下该样品。图5显示了在峰值之前和之后的结果。

图4。浆液B，没有稀释，没有突起

图5。浆液B之前（蓝色）和钉子后（红色）

结果3

在Fab中使用的浆料是浆液C，稀释1部分浆料至2份DI水。FX POU系统用于测量该碱浆料而无需稀释。图6显示了尖峰之前的结果。在浆料A和B中观察到的LPC尾巴中没有急剧下降。浓度为约30,000颗粒/ ml>0.7μm，颗粒计数为30ml浆料中计数〜5,500颗粒。欧洲杯猜球平台

图6。浆液c，无稀释，没有尖峰

然后，35μl的1000×稀释1μmpsl标准（浓度= 1.74 x 10⁷将欧洲杯猜球平台颗粒/ ml）加入到250ml的基础浆料中以刺入浆液C.在尖峰之前和之后浆液C的结果如图7所示。估计的尖峰浓度为2,500颗粒/ mL。

图7。浆液C在(蓝色)刺前和(红色)刺后

结论

结果表明ENTEGRIS归令FX确定低浓度的能力LPC粒子欧洲杯猜球平台在CMP泥浆。

这些信息已经从Entegris提供的材料中获得、审查和改编欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问entegris.