3D光学分析与准确的速度和测量集成了成像，这是不可能的，这是不可能的原子力显微镜（AFMS）或手写笔分析器。
三维光学轮廓仪用于一系列的测量，如亚微米到纳米级表面粗糙度和多毫米台阶高度。
光学轮廓仪通常设计在复杂的光学显微镜上，提供优良的成像和不接触被测表面的双重好处。他们使用几个通常带有高亮度led的光源来照亮样本，并使用先进的摄像机来捕捉图像，这些图像通过干涉术或共聚焦显微镜技术转换为高度信息。
目前，光学分析器目前部署在一些高科技行业中，其中研究了材料的表面性质。欧洲杯足球竞彩先进的半导体包装，太阳能电池板，高亮度LED和微流体装置的表征是使用该技术的一些应用。
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图1。的Zeta.-20使用蚱蜢3，并产生具有多模式光学技术的真彩3D光学图像
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图2。Zeta.-20和图像样本
图像捕获的改进使得新技术和更低的成本
最近介绍了Zeta-20。Zeta-20基于已知为ZDOT TM的专利光学技术设计，其允许它以不可行的方式捕获和研究难以测量表面的图像，例如激光共焦显微镜或干涉测量。
这些表面包括多层和透明表面，具有低对比度和低反射率的那些，或者具有高粗糙度的表面。
Zeta-20光学分析器具有固体光学基板，该固体光学基板具有螺纹孔，该孔向用户提供灵活性，以在几个物镜下定位任何待研究的样品。使用具有倍率范围的镜头，用户可以看到使用仪器获得的样品的视野的影响。还可以可视化焦深，这与所用实际物镜的数值孔径变化。
样品的3D图像是通过使用高强度白光LED光源来照明，以确保样品的颜色被保留。样品和用户选择的物镜之间的相对距离是改变的，由PC通过几个预先确定的步骤与具有线性和旋转编码器的精密闭环z轴驱动控制。
Zeta Tencor 20使用明亮的LED
在每个阶段，点图案由定制设计的电子图案发生器形成，并在物镜的焦平面上投影并使用点灰色蚱蜢3 GS3-U3-28S5C 2.8M像素彩色相机，捕获图像样品。
然后，该图案从仪器的焦平面上移除，相机捕捉到样本的第二幅图像。捕获的两组图像通过USB3视觉接口传输到PC机，图像使用专有软件算法进行分析，形成样本的2D合成图像和真彩色3D图像。由于系统确定点图案何时聚焦在样品上，因此可以理解，样品也将聚焦。该方法允许精确和一致的三维成像几乎所有的样本，而不考虑其图像对比度。
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图3。高强度白光LED保留样品的颜色
Zeta 3D使用蚱蜢3相机
KLA特别项目副总裁Ken Lee表示，Point Grey相机是Zeta-20 3D光学轮廓系统的重要组成部分。该相机与公司专利的ZDot图案发生器配合使用，能够以1920 x 1440像素的分辨率采集样品图像，用户可以在0.5µm以下的空间分辨率观察样品特征。
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图4。Grasshopper3, Sony ICX674 CCD, 2/3"， 4.54µm, 1920 x 1440, 26帧/秒
软件分析
On capturing the sample’s 3D image by the optical profiler, a Windows-based software package provides the user with 3D images of the sample, a two-dimensional composite image and a window wherein the results of studying the sample using the tool in the software package can be observed on screen. The analysis tools enable step height measurements on the sample surface to be performed and also helps identify the difference in the average height between two positions on the sample surface.
该软件还可以确定样品材料的表面粗糙度。表面粗糙度是用于研究材料表面的关键参数，因为它会影响其性质。
由于Zeta 3D光学分析器可以在几乎任何表面上采取多项测量，因此它对振动不敏感，并且允许共聚焦显微镜或干涉仪允许测量。它还在一些领先的大学和研发实验室以及弗劳霍夫研究所，NIST，耶鲁，麻省理工学院和普渡等大学和LED，太阳能和全球半导体公司等大学也被广泛采用。
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图5。的Zeta.-20能够测量多个维度，包括2D和3D粗糙度，微cmm，薄膜厚度，台阶高度，壁角等
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此信息已采购，从KLA提供的材料进行审核和调整。欧洲杯足球竞彩
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