使用ZDot技术的好处

光学分析仪提供精密3D测量，并由众多行业使用。各种设计提供了明显的优点和缺点。

在本文中，KLA专利的ZDot™光学轮廓技术与白光干涉测量相比。

白光干涉测量（WLI）

一些行业使用白光干涉术(WLI)进行3D测量。WLI被设计用来确定从纳米到毫米的表面高度。与其他光学方法相比，WLI的主要优点是垂直分辨率不受放大倍数或视场的影响，这使得它适合在平坦表面上要求低地形特征的应用。然而，对于具有多种地形特征的复杂曲面进行三维光学仿形存在一些主要缺陷。

WLI仪器容易发生倾斜和振动。由于光学系统的低光通量设计，WLI的成像能力受到限制。因此，WLI仪器不能处理具有大高度，多层，高粗糙度，低反射率或大反射率或大反射率的变体的样品。

图1。迈克尔森干涉仪

ZDot™光学仿形技术

ZDot™光学分析技术能够解决相关的WLI与提供高的光吞吐量并在本质上是不敏感的样品倾斜和振动的光学设计的挑战。它为在先进的半导体封装，高亮度LED，微流体，太阳能电池等方面提供无与伦比的计量能力和生产应用。

图2。ZDOT™克拉

比较

对于具有低反射率或高纵横比特征的表面，如通过或深沟槽，具有高的光吞吐量和光学效率是至关重要的。根据WLI建造的光学轮廓仪由于其光学设计，只能提供有限的光吞吐量(图1)。照明光线被划分在参考镜和样品之间，因此限制了计量和成像可用的光线。根据ZDot™技术构建的Zeta-20光学profiler旨在通过使用相同的聚焦和成像光路来克服这一限制(图2)。

WLI的振动灵敏度是由于将照明光分为两个单独的光路。即使是很小的振动也会在样品和参考镜之间产生相对运动(图1)，从而大大降低垂直测量的分辨率。

同样，WLI中的样品倾斜缺陷会导致干涉条纹变窄，从而进一步降低干涉仪的垂直分辨率。ZDot™凭借其独特的光学设计，能够克服这两个挑战。它使用公共路径进行聚焦和成像，并使用专利和专有技术来感知焦平面。

ZDot™由共焦网格结构照明(CGSI)组成，它可以产生样品自主的对比度，从而使几乎每个表面的坚固z高度测量成为可能。这种光学设计使Zeta-20光学轮廓仪本质上对振动和样品倾斜都不敏感。

Zeta-20光学分析仪的额外优点

分析器的其他优点是：

• 真彩色成像- WLI是假彩色
• 较低的成本 - 使用标准目标
• 可扩展功能(可选):干涉对比成像(ZIC);电影谱(ZFT);干涉法(ZX5 ZSI)

仅适用于ZDOT™技术

这些数字显示ZDOT技术可能的应用：

太阳基板和设备 泽塔-20光学轮廓仪显示真实的胶片颜色，并能处理相同视场中的不同材料。欧洲杯足球竞彩	LED处理 图案化基板的表征 - WLI通过重复模式混淆
高坡面的表面 ZDot™可以成像斜度高的表面，如晶圆片的倒角和侧壁-不可能与WLI。	微流体装置 ZDOT™可以使用透明和低对比度表面进行埋线层 - 不可能使用WLI。

此信息已采购，从KLA Corporation提供的材料进行审核和调整。欧洲杯足球竞彩

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