用高分辨率X射线微基分析表征样品

高科技行业的先进材欧洲杯足球竞彩料分析包括纳米技术，生命科学，半导体和微电子需要不断增加的高分辨率分析性能，以允许分析师了解样品特性的略有变化。欧洲杯线上买球

图1所示。Team™软件显示有线键的相位贴图

术语分辨率应用于基于sem的微量分析的两个明显不同的方面。解析通常被定义为系统解析或分离非常接近的两个分析方面的能力。成像和绘图中的空间分辨率将影响分析人员以明显的方式分离两个物理上距离很近的项目的能力。

改进的能量分辨率允许光谱中两个元素之间的区别，它们的峰落在紧密间隔的能量上，就像轻元素的峰分离一样。

一个真正卓越的微量分析系统能够在两个领域提供高分辨率的单一探测器。这可以通过使用TEAM™EDS分析系统对半导体器件进行分析来说明辛烷硅漂移探测器（SDD）。

欧洲杯足球竞彩材料挑战

由于感兴趣的特征尺寸不断向纳米尺度移动，因此有必要减小电子束的探针尺寸，以获得成功分析所需的空间分辨率。这可以通过降低束流加速电压(kV)和束流电流来实现，从而减小样品中的相互作用体积。

然而，这也导致更低的x射线信号强度和更小的光谱能量范围和更少的峰值选择。因此，为了成功分析，需要使用更大的探测器传感器和改进几何立体角来最大限度地提高x射线信号的采集效率。此外，光谱低端的能量分辨率对于分辨密集的元素峰是至关重要的。

分析结果

Mega分辨率相位图

图中描述了使用TEAM™EDS系统获得的半导体器件的截面相图，该系统具有辛烷值超SDD和5keV的电子束能量图1．数据收集显示了一个金键线连接到一个铝制键板与下面的设备结构。

由于x射线产生的穿透深度和体积有限，低束流能量产生了更高的空间分辨率，较重元素L-和m线与轻元素k线之间的显著峰重叠，使元素映射和正确的光谱反褶积从能量分辨率的观点非常具有挑战性。

阶段地图图1揭示了具有相似化学成分的区域，而不是纯元素图。这是一个独特的特点Team™EDS系统，能够快速识别区域之间的变化，而无需覆盖多个元素。示出了一个例子图2，显示Si元素地图。该地图显示了SI存在的所有区域，但没有显示区域之间的差异。

图2。SI元素地图

通过在相位地图采集期间从团队™软件自动识别的不同阶段中提取Si映射，用户能够容易地识别装置中存在的玻璃粒子和装置中的氧化硅介电层（欧洲杯猜球平台图3)，氮化硅阻挡层(图4)，以及纯硅衬底(图5）.

图3。Si-O相从相位映射提取

图4。Si-n从相位图中提取

图5。SI相从相位映射提取

对金和铝富相的研究揭示了样品的一个有趣的特征。纯金相进入图6清楚地显示金键线，而图7透露铝合金焊盘和金属层。然而，Team™软件也识别了金/铝金属间相位（图8）.对金属间化合物的x射线光谱进行定量分析，发现其成分为原子含量为60%的铝和原子含量为40%的金。

图6。Au相位从相位图中提取

图7。阶段从相位图中提取

图8。Au-al阶段从相位映射提取

铝和金的混合是由于接头暴露在高温下引起的。这是集成电路中众所周知的失效机制，因为金属间相的生长导致体积减小，导致金-铝界面空洞。金属间化合物也是一种不良导体，这意味着在键连接中会增加电阻。

通过检查器件结构的高倍放大图图9，特殊的光敏元件灵敏度辛烷超探测器在低速加速电压下甚至更清晰。黄色铝金属结构的尺寸为1μm（上）和750nm（下），并且围绕结构的富含氮钝化层进行了明显的解决。

图9。Team™软件显示集成电路的相位贴图

高分辨率成像与线扫描

虽然测图提供了样品的详细图片，并能更好地了解元素分布和相，但当需要非常快速地获取时，x射线线扫描是一种非常宝贵的工具，这通常适用于束流敏感样品。图中描述了在设备中通过铝层的线扫描得到的氮信号图10．上层钝化层的宽度和步长分别为150和20nm，线扫描的总采集时间在30秒以内。

图10。在Al Interconnect扫描

短收购时间突出了大面积检测器在没有任何信息损失的情况下快速记录高质量光谱的能力，并且即使在非常快速的获取时间内也表明了优异的光元素灵敏度。

这是可能的，因为分辨率稳定和优越的探测器电子辛烷SDD系列，这在市场上具有最快的加工时间，并保证了所有采集速度的高质量数据。

推荐EDAX解决方案

一个大面积SDD，如edax辛烷超，是进行高分辨率半导体微分析的理想选择。与类似尺寸的探测器相比，大的探测器活动区域和精心设计的几何设计最大限度地接近优越的立体角，允许最佳成像分辨率所需的SEM操作条件。

低能谱的分辨率质量加上TEAM™EDS独特的软件功能，提供了以前在大面积探测器系统中从未有过的轻元素性能结果。通过结合这两种性能属性，辛烷SDDs最大限度地提高了空间和能量分辨率，为高要求的样品提供最终的分析结果。

此信息已被源地，从Edax Inc.提供的材料进行审核和调整欧洲杯足球竞彩

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