ZDOT接触验证技术和应用

接触率测量法可能是通过与表面或表面力的物理接触来测量材料表面粗糙度的第一批技术之一。

配备有钻石探针的手写笔介函仪是最常见的接触式概要仪。原子力显微镜（AFM）使用相同的概念进行操作，但规模较小。

在不与材料表面接触的情况下可以执行测量的新型测量技术在高级系统和过程中首选。Zeta-20光学剖面是KLA的创新系统，具有ZDOT™技术。多功能性，优质的拥有成本和Zeta-20光学剖面师的速度使其成为各种应用程序中传统的手写笔伪造者的理想替代品。

Stylus Profiler，AFM和ZDOT™技术的比较

下表将ZDOT™技术的功能与Stylus Profiler和AFM进行了比较：

测量	Stylus Profiler	AFM	ZDOT™
线扫描粗糙度	是的	是的	是的
线扫描步骤高度	是的	是的	是的
基于区域的粗糙度和步进高度	慢（必须结合多条线扫描）	慢（必须结合多条线扫描）	快速地
大面积测量	缓慢，几分钟至小时	不	快速，几秒钟
细膜厚度测量	需要胶片边缘	需要胶片边缘	透明电影的选项；无需边缘
掩埋表面的表征	不	不	是（如果顶层是透明的）
真颜色或假颜色	错误的颜色	错误的颜色	真假颜色
同时进行2D和3D分析	不	不	是（横截面 +面积粗糙度）
方法和局限性
联系人（样本是否被探测“触摸”吗？）	接触	接触	非接触 无损
由于探针的大小，文物（虚假读数）？	是的，手写笔形状和大小会影响测量值；对样本，提示和一些知识 需要经验来识别工件。		没有探测器（无探针）
较大的台阶高能力（> 150 µm）	不	不	是的
所有权成本
要购买的消耗品？	是的，定期更换昂贵的钻石手写笔探针	是的，非常频繁地更换AFM探针技巧	没有消耗品
需要熟练的操作员吗？	不	是的	不
校准频率？	由于尖端变化而频繁校准	由于尖端变化而频繁校准	没有任何
总拥有成本	中至高	中至高	低的

Zeta-20光学剖面符具有标准目标，并固定在标准炮塔上，为用户提供无尽的自定义选项。包括AFM在内的第三方供应商提供了各种附件（图1）。

客户推荐

我们几乎每天都使用KLA，并依靠它来快速测量和样本表征。它非常适合我们的需求。KLA愿意定制的意愿给我们留下了深刻的印象。我们有独特的需求，他们抓住了机会使它为我们工作。我们收到的客户服务水平也给我们留下了深刻的印象。

美国普渡大学助理教授丽贝卡·克朗·克雷默（Rebecca Krone Kramer）博士

图1。多个供应商可用的AFM附件

其他Zeta-20光学剖面配件包括：

• 钻石抄写员标记缺陷
• 外部暗场照明
• 边缘检查固定装置，带有暗场照明
• 通过传播照明
• Swivel Head选项

申请Zeta-20光学剖面

下面给出的是Zeta-20光学剖面的主要应用：

• 与不提供有关埋入层的信息的手写笔剖面师不同，Zeta-20光学剖面师可以表征上层膜和下面的层（图2）。
• 探针可能需要更长的时间来表征大面积，并且它们的尖端形状在扫描过程中可能会有所不同，从而导致测量不正确。Zeta-20光学介绍剂允许快速大面积扫描（图3）。
• Zeta-20光学剖面材料表现出真实的电影颜色（图4）。粗糙的表面不是问题，也没有磨损或替代品，因为没有手写笔
• 与探针不同，ZDOT™技术能够在迷迭香叶中成像芳香的油滴（图5）

图2。测量材料表面下方的层

图3。大面积测量

图4。Zeta-20光学剖面展示真实的电影颜色。

图5。ZDOT™技术可以成像迷迭香叶，显示芳香的油滴。

结论

借助ZDOT™光谱技术，将扩展共聚焦显微镜的概念，并具有真实成像的其他好处。它可以放松地对复杂的表面进行成像，并提供高亮度LED，微流体，太阳能电池，晚期半导体包装和其他几个部门所需的特殊计量能力。

此信息已从KLA Corporation提供的材料中采购，审查和调整。欧洲杯足球竞彩

有关此消息来源的更多信息，请访问KLA公司。