等离子体质量和能谱的时间分辨测量

由Hiden的分析2015年8月11日

当质谱和能量分布为质量鉴定对靶表面移动在等离子体反应器的正，负离子被直接测量可以得到有价值的信息。在大多数情况下，这些测量是时间平均分布中，当脉冲功率被施加到等离子体包括。

时间分辨分析

这将是有益的时间分辨的数据，尤其是启动和脉冲等离子体的衰减过程中。执行此类分析，多通道标量（MCS）设备被并入Hiden的EQP仪器（图1）的离子检测器系统。

MCS可以用作探测器，用于光束斩波器入口的时间分辨分析、离子飞行时间测量和等离子体点火/调制/消光分析。

Hiden EQP的典型操作配置

图1。Hiden EQP的典型操作配置

隐伏的内部MCS设施顺序指示质量解析离子束检测器的输出转换成一个数计数通道（箱）中的一个，以通过确定离子在信道时间到达检测器的数量，以使感兴趣的离子的高速时间分辨分析。

它可以应用到后续的高速变化，掌握时间分辨来自外部事件的数据，而无需使用任何外部设备。2020欧洲杯下注官网因为，它可以与MASsoft的扫描发生器来同步操作，它可以被应用到收集数据表面，其中所述轴中的一个是时间。一个例子是用于在调制等离子体中的离子的能量时间的表面。

使用氩气作为与25kHz的交流电源，或从13.6MHz的RF供给电源的测试气体中的平行板反应器运行等离子体所获得的数据重复地门控利用来自信号发生器的操作方波的包络在500Hz的周围频率在这里作为例子来演示隐伏EQP仪器的新功能。

对基于“增大化现实”技术⁺离子以在20kHz的等离子体50mTorr的压力，与所述能量分布的时间典型变化示于图2.扫描在200nsec间隔执行的能量。用于利用氩气作为测试气体门控RF等离子体离子能量分布是相当多的结构。

20kHz 50mTorr等离子体中Ar+的典型时间分辨数据

图2。典型的时间分辨的Ar数据⁺在20kHz 50mTorr等离子体中

图3示出了IED的特性家庭扫描的Ar⁺离子在35mTorr的压力下25W等离子体，证明特别到达EQP的一旦建立等离子体的采样孔口迅速衰减的高能量的离子。

RF 13.6 MHz 35mTorr等离子体中Ar+离子的典型时间分辨数据

图3。典型的时间分辨的Ar数据⁺射频13.6 MHz 35mTorr等离子体中的离子

在这个实验中多通道设备的标量与Hiden EQP仪器的离子探测系统耦合。所用的时间分辨率为50ns。结果显示了离子能谱的起始和衰减特征，这是其他时间平均数据不可能获得的。

这些信息已经从Hiden Analytical提供的材料中获得，审查和改编。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问Hiden的分析．

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美国心理学协会
针孔分析。(2020年11月02)。等离子体质量和能谱的时间分辨测量。AZoM。2021年9月11日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12242检索。
MLA.
针孔分析。“时间分辨等离子体质谱和能谱测量”。AZoM．2021年9月11日。< //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12242 >。
芝加哥
针孔分析。“时间分辨等离子体质谱和能谱测量”。AZoM。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12242。（访问2021年9月11日）。
哈佛大学
针孔分析。2020年等离子体质量和能谱的时间分辨测量．AZoM，观看2021年9月11日，//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12242。