对于表面计量学研究，重要的是，实验室仪器易于操作并能够同时进行多次测量。这些仪器应成为能够快速而准确的研究的工具，以便可以将研究结果迅速传达给您的同伴社区。
图1。表面计量仪器应是能够快速准确的结果的工具。
Zeta 3D光学剖道师
您可以快速，轻松地学习使用Zeta 3D光学剖道师；在不到一个小时的时间内可以理解90％的技术。该仪器能够同时执行多次测量，并迅速产生有意义的结果。每次扫描的平均时间小于30秒。Zeta 3D光学剖析师的最大优势是，它不需要任何维护，消除了合同的需求和等待服务。
与3D光学剖面师区分研究
快速准确
关键的研究工作通常需要可以提供快速准确的3D成像信息来做出关键决策，迭代实验和重新设计设计的工具。与传统的分析仪器不同，需要数天甚至数周才能获得结果，Zeta Tencor 3D光学剖面仪可在几分钟内提供结果，并有助于在数小时内完成迭代。该仪器能够直接扫描样品而无需任何样品准备。ZDOT技术能够与最具挑战性的表面合作，而无需平整阶段或找到重点。
不只是一张漂亮的图片
由Zeta Tencor 3D光学剖面制作的图像令人着迷并准备出版。这些图像对编辑和审阅者立即有意义，使研究发现变得更加清晰，更相关。整个表面计量的故事以及数据都由单个已发布的图像捕获，为封面艺术提供了足够的详细信息。
多种应用多模式技术
当预算有限时，购买每种主要工具的购买都很重要。在这样的限制下，购买可用的最佳表面计量工具很重要。甚至可以使用纳米级级的表面测量Zeta 3D光学剖面，，，，像干涉仪。3D计量学（ZDOT）技术可以满足研究表面计量学要求的几乎90％。ZETA的功能可以扩展到Nomarski成像（ZIC），垂直扫描干涉仪（ZX5 / ZX100），膜厚度测量（ZFT），剪切干涉仪（ZSI），暗场成像，自动缺陷检查（AOI）和缺陷标记（AOI）和缺陷标记（AOI）钻石抄写员。Zeta Profiler可以测量各种大小和角度的样品。软件分析或硬件设计也可以在Zeta 3D光学剖面仪上进行自定义。图2,3和4显示了ZETA 3D剖面的某些应用。
图2。CMP的聚甲烷表面
图3。用于药物输送的微针
图4。RGB像素在手机中成像
Zeta-20
这Zeta-20 3D Profiler是用于测量复杂表面的非接触式光学剖面。探查器与指标显微镜（图5）结合使用，用于在世界一流的研发机构和大学进行研究工作。基于专利的ZDOT垂直扫描机制在非接触式3D成像和计量系统中实现，用于对具有诸如低对比度，透明，混合材料，高粗糙度，高反射率或非常低反射率等性能的复杂表面进行测量。欧洲杯足球竞彩
图5。计量显微镜
Zeta-20的独特光学设计提供了非常高的光吞吐量，可实现10 nm的高度分辨率，并具有标准显微镜目标。这种分辨率无法通过典型的垂直扫描显微镜来实现。
结合颜色CCD摄像头和高亮度白色LED的集成系统可以同时对表面进行地形和真实的颜色测量。ZETA-20光学剖面是测量埃词级步骤或粗糙度或纳米尺度的膜厚度的正确选择。
根据研究需求，Zeta-20光学剖面的多模式光学架构提供了将其使用扩展到干涉仪（ZX5，ZSI），Normarski成像（ZIC）和光谱反射仪（ZFT）的灵活性。
此信息已从KLA提供的材料中采购，审查和改编。欧洲杯足球竞彩
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