用液体颗粒计数法测试固体颗粒过滤效率

从流体中去除颗粒称为过滤。欧洲杯猜球平台液体颗粒计数器的常用用途之一是评估过滤器去除各种大小颗粒的效率。欧洲杯猜球平台一些常见的用途包括:过滤液的实验室测试、上游/下游过滤器测试和使用点(POU)监测。本文主要介绍entergris的指控器，它在许多行业中都有使用，用于上述三个目的。

过滤的意义

如前所述，过滤是从流体(液体或空气)中去除固体的机械或物理方法。这是在液体通过过滤介质时实现的，这减少了液体中存在的颗粒数量。欧洲杯猜球平台过滤器上游的流体为进料，通过介质的流体称为滤液(图1)。

图1所示。简单的过滤

可选用滤纸、活性炭、硅藻土、墨盒等各种过滤介质。由于不同的介质具有不同的效率，在不同的尺寸范围内，用户必须选择合适的介质来去除所需的颗粒。

液压动力系统分离和润滑部件的运动部分。固体颗粒污染会导致磨损，降低效率，缩短部件寿命。在液压过滤器中，系统内循环的颗粒数量是受控制的，以匹配所需的系统可靠性水平。欧洲杯猜球平台液压过滤器的测试是液体颗粒计数器的常用用途之一，包括Entegris宾控器。

在微电子工业中，CMP浆料通常在生产和使用过程中进行过滤。通过使用过滤器，可以将生产过程中形成的大颗粒从泥浆中去除，从欧洲杯猜球平台而实现无刮擦晶圆。在某些应用中，过滤器的寿命会受到影响，过滤后形成的大颗粒会在晶圆上造成缺陷。欧洲杯猜球平台根据实际的颗粒数而不是占空比或压力来决定更换过滤器的确切时间，可以提高产量并降低过滤费用。

配制成喷墨墨水的颜料通常分散成更小的颗粒尺寸(在50到200纳米之间)，必须使其胶体稳定。颜料颗粒的大小至关重要，因为大的颗粒会堵塞通道和喷嘴，损坏打印头。欧洲杯猜球平台大颗粒(> 0.5-1.0µm)含量的控制需要一种对少量大颗粒(分布的尾部欧洲杯猜球平台)敏感的技术。

过滤测试

工业过滤器的用户和制造商在设计、制造和选择过程中测试过滤器，以识别与给定应用程序匹配的过滤器。过滤器测试的常用方法之一是使用两个液体粒子计数器传感器(图2)测量过滤器的上游和下游Entegris AccuSizer,客户可以根据大小和浓度选择几种可用的传感器。用于液压流体过滤器测试的常用传感器是LE-400传感器，其范围为0.5-400µm。计数器有512个分辨率通道，远远超过了通常用户的要求。如果需要，还可以在饲料传感器中启用自动稀释。

图2。过滤测试站

按照ISO 16889的规定，液压过滤器测试的典型数据解释是过滤比(或贝塔比)。

CMP浆料

的AccuSizer在世界各地的实验室和生产过程中，监测CMP浆体的健康状况，优化过滤，最大限度地减少表面缺陷。过滤器上游(蓝色)和下游(红色)的accuizer粒子计数数据如图3所示。

图3。CMP浆液上游/下游过滤器

喷墨油墨

喷墨用2µm和5µm过滤器过滤的过滤测试结果如图4所示。两种滤膜对小于1µm的颗粒浓度均有改善。欧洲杯猜球平台未过滤样品中大于1µm的粒子数超过100,000个/mL，而5µm和2µm的粒子数分别为~70,000欧洲杯猜球平台和~20,000个/mL。

图4。喷墨墨水未过滤，过滤量分别为5µm和2µm

结论

Entegris accuizer是一个理想的系统测试过滤器和执行许多过滤效率实验。该传感器基于单粒子光学尺寸(SPOS)，具有最宽的尺寸和浓度范围。

这些信息已经从Entegris提供的材料中获得、审查和改编欧洲杯足球竞彩

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