使用CVD非晶硅涂层减少UHV系统中的除处

当淤积时^®1000施加在真空系统的内表面上，它显着降低了扩散速率，并提供了处理室的生产率优势，其需要更快而有效的疏散。硅胶1000层大大减少了超高真空（UHV）系统中的钢部件的放气。

可以将硅胶1000层施加到钢表面上并组合到钢表面中，使得该层用作屏障，隔离钢上或钢上捕获的任何材料，并阻止它们进入UHV环境，而不释放自己的任何污染欧洲杯足球竞彩。

好处

淤泥^®1000提供以下优点：

• 通过减少真空泵向下时间减少2.5倍的过程时间
• 通过降低离子污染和水分来增强过程产量
• 通过减少或消除昂贵的设备烧坏或稳定来增加值2020欧洲杯下注官网
• 易于使用，可以使用硅片定制涂层服务增强电流部件的性能。

与热清洗部件相比，图1显示了使用UHV组件中的硅胶1000处理部件获得的显着改进。硅藻土1000涂层部分显示在61℃下真空10小时后的热清洗部分低14倍。

硅胶1000处理的部件有助于实现和维持具有有限泵送能力的UHV环境，并且没有烘烤或预清洁。

图1。比较硅藻土1000处理与未处理室的抽水速率。与未经处理的腔室相比，硅藻土1000将减少2.5倍或更大的泵送时间。（由ELVAC实验室提供的数据）。

使用硅胶1000加速水分干燥

在半导体扇区中使用的气体转移系统需要低水分含量。用于干燥和润湿实验的数据，测量经处理的电抛光不锈钢管和常规316L不锈钢管中的水分含量变化的比较响应时间，揭示了施加硅藻土处理管与未处理管道的优势。

图2说明了硅胶1000处理的电抛光，标准管和未处理的电抛管管的湿曲线之间的比较。

图2。硅藻土1000经处理的电力研磨管稳定在1ppm水分上比传统表面快得多。（奥布莱恩公司提供的数据）。

在30分钟内，经处理的电抛管达到98％的饱和极限，而电抛管管相比60分钟。定期管道能够在180分钟的跨度中达到96％的摄取。

水分干燥曲线揭示了淤泥1000在35分钟内完成干燥的电抛管管，而电极管需要65分钟，并且需要常规管道175分钟。在图3中，将干燥性能与饱和10ppm水分饱和的管道进行比较。

图3。硅胶处理的电力研磨干燥比传统表面快得多。

硅藻土1000层坚固且足够长，以承受获得UHV环境所需的密封先决条件。图4说明了硅藻土1000处理的Conflat的刀刃^®密封表面。

刀刃进入并密封在布隆特内安装的铜O形圈^®表面。即使在这种密封过程的许多循环之后，硅藻土1000层也保持完整。

图4。耐用的硅藻土1000层将承受UHV的密封要求，保持刀刃完整性。

结论

淤泥1000是一种高纯度硅化学气相沉积（CVD）表面处理，可用于排出UHV系统。硅藻土1000显着减少了不锈钢UHV系统中的放气。

该系统的疏水性质允许快速，有效地从UHV系统中泵送水分和其他一般表面污染物。

更好的过程产量，增强的过程设备生产率和优异的过程效率是减少污染的结果。2020欧洲杯下注官网

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