半导体应用表面处理解决方案

半导体行业目前受到成本、生产率和速度的驱动，就像以前受到性能的驱动一样。随着产量的不断增加，制造商需要以更快的速度提供更高的产量，确保大数据量过程的稳定性，并保持更好的纯度标准。

因此，过程可靠性、设备重用和更快的技术部署变得至关重要。2020欧洲杯下注官网本文讨论了由SilcoTek为半导体应用开发的表面处理工艺。

SilcoTek的涂料

SilcoTek的3D非视线化学气相沉积(CVD)工艺已经获得专利，提供灵活和高纯度的层，与用于制造半导体的普通材料有更好的附着力;欧洲杯足球竞彩不锈钢，铝和陶瓷。该层可以符合最复杂的组件几何形状。

的SilcoTek^®Surface具有随油管表面变形的能力，以适应半径弯曲和无泄漏密封的使用。

Silcolloy^®1000处理提高耐腐蚀能力

独立实验室的测试表明Silcolloy^®1000年治疗增强耐锈型316L不锈钢（图1和2）的耐热性高达10倍。硅胶1000处理与用于半导体的各种化学物质相容。

图1所示。316L型不锈钢表现出裂缝腐蚀，而同样的材料处理与硅藻土^®1000只表现出微小的点蚀腐蚀（ASTM G 48，方法B）。

图2。在氯化物环境中，经过银铬1000处理的不锈钢比未涂覆的金属性能要好一个数量级。

在降低成本的同时提高可靠性

在安装的5年内，暴露在腐蚀性设置下的316L气体输送系统需要更换。用高性能合金替代316L不锈钢会导致系统成本增加5倍。替代合金仍可能受到金属离子污染。

提高316L不锈钢的防锈性10倍，Silcolloy1000涂层处理减少了昂贵的维护和由钢腐蚀引起的现场故障。

图3显示了普通气体输送系统中，Silcolloy1000涂层处理与哈氏合金C22结构的成本比较。与未经处理的不锈钢/不锈钢合金相比，Silcolloy1000处理节省了生命周期的成本。

图3。Silcolloy1000降低不锈钢或不锈钢合金的生命周期成本(美元)。

满足日益增长的行业需求

产品性能并不是半导体制造商成功的唯一因素。也有必要以所需的数量高效地生产产品，并在不影响成本目标的情况下按时交货。

根据国际半导体技术路线图，摩尔定律只能在持续接近100%的良率提高和相关生产力升级的情况下才能实现。

SilcoTek半导体处理解决方案通过保护重要的沉积和蚀刻组件，如淋浴喷头、气体输送系统、室内部件等，有助于防止昂贵的维护和生产时间的损失。

增加产量，减少浪费，更好地用硅胶控制^®和Semicon-modified Dursan^®

SilcoTek的专利涂层处理是为半导体制造而设计的，并提供化学无反应的纯非晶硅表面，可以抵抗腐蚀和颗粒污染。

Silcolloy^®和修改Dursan^®为制造设备提供保护，帮助更容易发现缺陷，确保稳定的工艺和提高产量。2020欧洲杯下注官网它们减少了某些化学物质(如HCl, HBr, NF)腐蚀引起的数据和输出变化_3.和其他人。

SilcoTek^®减少泵出时间

采用SilcoGuard1000处理的真空室可以显著提高需要频繁泵送的半导体工艺的生产率。污染物，如水蒸气，在工艺真空室可以降低抽气率，极限基压和工艺吞吐量。

将SilcoGuard1000应用于真空系统的裸露表面，可以降低排气率，并为需要高效和快速疏散的工艺室提供生产率优势。图4显示了未经处理的腔室和经过SilcoGuard处理的腔室的泵降速率的比较。

图4。与未经处理的腔室相比，经过处理的腔室SilcoGuard1000可将泵入时间减少2.5倍甚至更多。

结论

SilcoTek通过提高不锈钢表面性能，使半导体制造商能够满足生产率和成本挑战。虽然SilcoTek处理可用于现有工艺组件，但定制处理也可用于特定工艺部件和用途。

下载关于Silcolloy的更多手册^®从硅片治疗。

该信息的来源、审查和改编来自SilcoTek提供的材料。欧洲杯足球竞彩

欲了解更多信息，请访问SilcoTek。