质量流控制器有助于改善物理蒸气沉积应用

进行阳极氧化和蓝调以防止腐蚀，但是这些方法可能会刮擦，并且阳极氧化过程不会太大地增强表面。已使用的替代方法是镀铬，但Chrome-6有毒，仍然可以磨损，剥落和凹坑。

挑战

真空沉积系统制造商Duralar希望通过使用物理蒸气沉积来创建快速的，钻石样的涂层方法来找到解决方案，这比前面提到的方法更难，更耐用。它可以用于防止金属零件上的腐蚀，腐蚀和磨损。

就像Duralar一样，如果物理蒸气沉积创新者想创建一种方法，时间，金钱和大量测试。测试将需要修改流量和气体，同时保持精确的流量以确保可重复性。

但是，不能为每次测试购买一个新的真空流控制器，并且为每个食谱重新校准的成本都很高。

图1。在钻石硬质PVD真空涂层之后，普通钢显示为黑色。

Alicat的解决方案

Duralar建立了一般的真空沉积系统，但是对于特殊气体四甲基硅烷（TMS）的六个集成热控制器中的任何一个均未完成校准。但是，重新校准对于这些控制器准确改变气体至关重要，从而导致停机时间。

因此，Duralar决定接受Alicat的协助。尽管Alicat在其标准列表中没有TMS，但Alicat还是能够设计配备TMS定制气体校准的耐腐蚀流量控制器（图2）。

图2。Alicat为Duralar提供了耐腐蚀的流动控制器，并为TMS提供了定制的气体校准。

使用Alicat控制器（这是一个倒数替换）Duralar对其系统进行了改造。由于Alicat的气体选择，TMS流量是准确的，无论是将全尺度的0.5％还是全尺度流动。它根据NIST的粘度表提供了完整的性能曲线，从而消除了由于工厂的压力或温度变化而导致的不准确性问题。

与原始的热控制器不同，拟合在控制器中的闭环传感器可以补偿体积变化，并有助于防止不准确。

Duralar用腔室作为真空生产涂层零件，流动的精确量，加入材料蒸气，并将其转换为等离子体，并将其转换为组件。物理蒸气沉积中需要真空，因为当有大气气体时，化学不起作用。

正在开发一个新的过程，将薄涂层放在管道和管中。将管子内部涂覆可以减少腐蚀和磨料的磨损，从而确保管道中的磨料液体光滑，或者对步枪枪管内部的保护。

该方法很聪明；管端密封，管子的内部变成真空腔。现在的挑战是改变薄管内血浆产生电气排放的位置以获得总涂层。

Alicat提供了解决方案。借助MCS流量控制器，用于腐蚀性TMS和两个Alicat MC质量流控制器，他们能够在需要时改变气体。提供多达20种可使用的用户混合物和98种内置类型的选择。

Alicat可下载的LabView驱动程序用于构建真空过程步骤，从远程笔记本电脑管理MFC及其关闭的螺线管。

图3。真空泵和三个用于原型制作的质量流量控制器。

图4。Alicat的LabView下载定制以运行原型系统

结论

随着时间的流逝，该过程得到了改进，现在可以使用定制的涂料系统。客户可以为金属零件下的类似钻石涂料的订单，或为其他人提供服务的系统。

与阳极氧化相比，与铬镀层相比，真空涂层高度耐用，并且越来越硬。Alicat流量控制器的适应性为物理蒸气沉积过程提供了不断的改进。

下载小册子以获取有关Alicat的质量流控制器的更多信息

此信息已从Alicat Scientific提供的材料中采购，审查和改编。欧洲杯足球竞彩

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