分析材料的晶相分布和性能欧洲杯足球竞彩

由布鲁克AXS公司。2016年7月8日

微聚焦x射线源IµS结合D8 DISCOVER，是一种用于现代材料研究和表征的新型衍射(XRD)方法。欧洲杯足球竞彩本文讨论了该体系在微衍射(XRD)结构下研究晶体相分布和探针尺寸小于50 μ m的材料性能的能力。欧洲杯足球竞彩第二个例子将涉及使用XRD在不同材料上进行的相图绘制，如铜互连电路和花岗岩切片。欧洲杯足球竞彩在500 μ m线宽电路上进行了方向分布函数(ODF)分析。

µx射线衍射

µXRD配置如图1所示，设置详细信息如表1所示。集成MONTEL光学器件的IµS为该应用提供了一个具有明亮光斑类型的主光束。

D8 DISCOVER with IµS配置用于XRD，从左到右分别为IµS、Montel、准直器、中心支架、1D和2D探测器。(上图)LYNXEYE XE用于生成依赖方向的地图。(下)VÅNTEC-500用于ODF分析的极图测量。

图1所示。D8 DISCOVER with IµS配置用于XRD，从左到右分别为IµS、Montel、准直器、中心支架、1D和2D探测器。(上图)LYNXEYE XE用于生成依赖方向的地图。(下)VÅNTEC-500用于ODF分析的极图测量。

表1．典型的XRD相图仪设置为D8 DISCOVER与IµS。

源	我µS微焦点(铜)
光学	蒙特尔
准直器	20µm - 1.0 mm，几个中间尺寸
阶段	中心欧拉摇篮(CEC)
样品	定位激光视频显微镜
探测器	LYNXEYE XE或VÅNTEC-500

最终光束尺寸可使用准直器控制，通常选择为20µm至100µm。光束通过MONTEL光学装置聚焦在样品上，以产生最小光斑尺寸的更高强度。使用激光视频显微镜实现X射线束在样品上的精确且简单的无接触定位。LYNXEYE-XE探测器用于映射实验，其中相位存在的指示用单峰表示。一旦完成探测器在感兴趣的峰值上的定位，将在Y方向执行一系列X平移扫描。在测量过程中，样品在Psi（倾斜）和φ（旋转）下振荡，以最小化与颗粒统计性差相关的方向，从而使峰值强度代表相的浓度。确定感兴趣的区域后，可以进行进一步的分析，如纹理和残余应力测量。如果需要在样品的不同方向进行多次测量，则使用VÅNTEC-500等2D探测器来加速数据收集过程。

花岗岩中黑云母的测定

实验中使用了20 x 20 x 5 mm的花岗岩片（图2a）。以34度角（对应于黑云母的（131）反射）在该花岗岩片上进行的相位图如图2b所示。该图由若干X扫描组成，步长为0.1 mm，每步计数时间为0.5秒，范围为20 mm。在Y轴20毫米以上再次进行X扫描，总扫描时间为11小时。光学图像中花岗岩的黑色区域与µXRD相图中的黑云母之间存在正相关性。

用D8 DISCOVER、IµS和LYNXEYE XE对花岗岩中黑云母进行光学成像和XRD相图分析。

图2。用D8 DISCOVER、IµS和LYNXEYE XE对花岗岩中黑云母进行光学成像和XRD相图分析。

测量PCB上50 μ m铜痕迹

连接电子设备需要印刷电路板上的电路互连。器件的性能取决于互连电路的质量。当这些电路变得更小时，维护首选方向变得越来越困难。图3显示了从50µ铜互连获得的单个2D帧的集成。

用IµS和LYNXEYE XE收集的印刷电路板的XRD测量，同时在整个表面上沿X和Y方向振荡。

图3。用IµS和LYNXEYE XE收集的印刷电路板的XRD测量，同时在整个表面上沿X和Y方向振荡。

所分析的电路如图4a所示。图4b显示了使用该方法获得的电路的微x射线荧光图M4龙卷风．样品的XRD(111)、(200)和(220)相图如图4c-e所示。

(a)印制电路板样品的光学图像。(b) M4 TORNADO收集的Cu的XRF元素图。(c-e))得到的(111)、(200)和(220)Cu的XRD相图。

图4。(a)印制电路板样品的光学图像。(b) M4 TORNADO收集的Cu的XRF元素图。(c-e))得到的(111)、(200)和(220)Cu的XRD相图。

明亮的区域与印刷电路板表面的法向纹理相对应。钡和硫的元素映射M4龙卷风如图5a-b所示。虽然元素的可视化是可能的，但是关于晶体相存在的信息是不存在的。贝索(121)₄图5c的相图显示了钡和硫在BaSO中的元素映射₄阶段。

(a-b) M4龙卷收集到的Ba和S的x射线荧光(xrd)元素图。(c) IµS和LYNXEYE XE收集的(121)BaSO4的XRD相图。

图5。(a-b) M4龙卷收集到的Ba和S的x射线荧光(xrd)元素图。(c) (121) BaSO的XRD相图₄用IµS和LYNXEYE XE收集。

µXRD织构测量

有兴趣的领域可以提供详细的分析，使用XRD相图可能会出现。例如，一种材料的宏观性质可以取决于存在相的晶体取向或结构。这可以用于使用极点图和得到的ODF进一步量化纹理。2D VÅNTEC-500探测器在gamma和2q的大覆盖范围内，节省了极图采集的时间。500µm印制电路板(111)CuµXRD的光学图像和相图如图6所示。

用IµS和LYNXEYE-XE发现D8的光学图像和µXRD Cu（111）相映射。

图6。用IµS和LYNXEYE-XE发现D8的光学图像和µXRD Cu（111）相映射。

图7显示了在100µm光束大小和20分钟采集时间下获得的纹理数据集的极图（111）和（200）。使用DIFFRAC.MULTEX创建极图，并使用重建的极图以组件方法分析纹理。这也显示在图7中。ODF的计算基于三种纤维织构成分，如图8所示。

测量(左)和模拟(右)极点图仅使用一个500 μ m铜互连线的纤维纹理组件。极点图是铜的(111)(上)和(200)(下)反射。

图7。测量(左)和模拟(右)极点图仅使用一个500 μ m铜互连线的纤维纹理组件。极点图是铜的(111)(上)和(200)(下)反射。

500µm铜互连的定向分布函数（ODF）。

图8。500µm铜互连的定向分布函数（ODF）。

结论

的我µS D8发现用于收集各种样品的数据，包括印刷电路板上的铜和花岗岩互连。使用有助于配置纹理分析和µXRD相位图的IµSMONTEL光学元件创建了20µm至100µm的探针。使用LYNXEYE XE制作µXRD图，同时使用VÅNTEC-500进行详细分析，从而完成中心Eulerin支架的X和Y绘图阶段。DIFFRAC.MULTEX软件和达芬奇光学识别技术的结合使得在很短的时间内从LYNXEYE XE过渡到VÅNTEC-500，并使优化实验仪器成为可能。

该信息已从布鲁克AXS公司提供的材料中获取、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

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引用

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美国心理学协会
力量中心——AXS Inc . .(2021年3月05)。分析材料的晶相分布和性能。欧洲杯足球竞彩AZoM。于2021年7月6日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12663检索。
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布鲁克AXS公司。。“分析材料的晶相分布和性能”。欧洲杯足球竞彩AZoM．2021年7月6日。< //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12663 >。
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布鲁克AXS公司。。“分析材料的晶相分布和性能”。亚速姆。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12663. （欧洲杯足球竞彩查阅日期：2021年7月6日）。
哈佛
力量中心——AXS Inc . .2021.分析材料的晶相分布和性能欧洲杯足球竞彩．viewed september 21, //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12663。