用高速1D往复空间映射（RSM）和摇摆曲线分析SRTIO3基板

由力量中心——AXS Inc .)2016年7月8日

SrTiO_3.衬底通常用于外延钙钛矿氧化物薄膜的生长，如(001)SrTiO_3.单元电池显示极低的晶格失配与几个功能显著的氧化物。抛光“epi准备”单晶(001)SrTiO_3.外延薄膜生长的衬底很容易从不同的厂商获得。衬底可望为结构纯度高的单晶，或在薄膜生长过程中出现缺陷。

对膜的特性产生不利影响的常规缺陷，特别是氧化物的生长，包括孪生和各种畴的形成。在薄膜生长之前，检验商业衬底的质量是极其重要的。描述单晶基片通常发生摇摆曲线的发展在一个方位角度,和底物被认为是单一晶体如果高斯摇摆曲线峰半宽度(应用非常接近工具扩大了。这一分析强调了这种方法在所有情况下可能不是精确的。

仪器

分析使用了以下仪器:

D8 DISCOVER(图1)

小侧

旋转吸收器
Goebel镜子
铜长细聚焦x射线管(40 kV/40 mA)
(022) 2-反射锗单色仪

样品阶段

中心欧拉摇篮(CEC)

二次面

LYNXEYE 1 d检测器
通用探测器安装（UDM）带狭缝

D8发现设置

图1。D8发现设置

测量

当一个开放的0D探测器被放置在2θ时，在SrTiO的(200)峰附近进行摇摆曲线，其中样品在布拉格角θ附近“摇摆”_3.基质。往复式空间图（RSM）从一系列固定的1D检测器快照的相同峰值开发相同的峰值，并且同时以相同的方式摇动样品。基于复合硅条技术，LynXey检测器足够灵活，可以从0D模式切换到1D模式，使其能够为HRXRD应用程序非常灵活。与传统的0D RSM相比，通过在1D模式下收集RSM来减少总扫描时间。在4-反冲单色仪上使用2-反冲单色仪的利用增强了强度，同时继续提供预期的X射线束发散和光谱纯度。测量在（001）SRTIO上执行_3.在不同方位角的基板以分析在生长之前的基材的质量。结果如图2所示。以该顺序为测量选择的方位角包括0,45和90度。通常用于RSM的测量时间为30分钟。

不同方位角(从左到右0,45和90)采集的1D快速RSM和0D摇摆曲线

图2。不同方位角(从左到右0,45和90)采集的1D快速RSM和0D摇摆曲线

结果

处于方位角为0和90度的测量值突出显示（002）摇摆曲线中的一个亮点和（002）RSM轮廓表现出传统的高斯形状。以方位角为45的测量值表示RSM中几个斑点的证据，以初级亮点的右侧，如图3所示。

摇摆曲线方向上的1D RSM的截面轮廓与0d摇摆曲线之间的比较。

图3。摇摆曲线方向上的1D RSM的截面轮廓与0d摇摆曲线之间的比较。

在摇摆曲线方向上的响应面剖面显示了与开放检测器摇摆曲线相同的剖面，这提供了衬底中存在若干域的明确证据。这证明了SrTiO_3.衬底不是单晶。

结论

这篇文章强调了表征单晶衬底超越单一摇摆曲线的重要性，以获得一个全面的评价。一个高速，灵活的1D探测器和一个高强度的二次反射单色仪被用来减少额外的时间需要这些测量。

该信息已从布鲁克AXS公司提供的材料中获取、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

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引用

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美国心理学协会
Bruker Axs Inc ..（2021年3月）。具有高速1D往复空间映射（RSM）和摇摆曲线的SRTIO3基板。AZoM。从Https://www.wireless-io.com/article.aspx?articled=12668从//www.wireless-io.com/101。
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力量中心——AXS Inc . .“用高速一维倒数空间映射(RSM)和摇摆曲线分析SrTiO3衬底”。AZoM．01年8月2021。。
芝加哥
力量中心——AXS Inc . .“用高速一维倒数空间映射(RSM)和摇摆曲线分析SrTiO3衬底”。AZoM。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12668。(2021年8月1日生效)。
哈佛大学
Bruker Axs Inc .. 2021。用高速1D往复空间映射（RSM）和摇摆曲线分析SRTIO3基板．viewed september 21, //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=12668。