本文讨论了丹尼尔·梅辛(Daniel Meysing)进行的研究,他是科罗拉多州戈尔登市科罗拉多矿业学院化学与生物工程系的博士候选人。他的研究小组研究射频磁控溅射用于薄膜太阳能电池的II-VI化合物的化学和能量学。Hiden eqp500用于这项工作。
太阳能材料研究
II-VI化合物的溅射沉积通常被认为是一个“黑盒子”,在这里输入参数(溅射功率、环境成分和压力)是受控的,而薄膜特性(光传输、电导率和成分)是在不深入了解过程的情况下确定的。这项研究工作的目的是进一步了解溅射中涉及的某些复杂机制,这些机制影响薄膜的光电特性。
在溅射室或溅射-等离子体诊断(SPD)工具的溅射配置中可容纳多达6支溅射枪(图1)隐藏的eqp500分析仪安装在旋转法兰上,可垂直或离靶定位,并可靠近或远离靶,采用z轴电机。为了在不同的压力下使用,差动泵EQP可以安装不同直径的孔。在~10 mTorr溅射压力下,采用100µm孔径进行分析。
图1所示。溅射-等离子体诊断工具的示意图。
在最初的工作中,重点放在ZnS在纯氩(Ar)中射频磁控溅射的等离子体产生的离子能量分布(IED)。研究了S、Ar和Zn离子的压力、功率和飞行距离等参数。与Zn和S相比,Ar离子具有不同的ied,表现出低能量肩,这是靶处反射和Penning电离反应的结果。
然而,S和Zn的ied具有一个主导峰,以及一个相对较小的高能肩峰。在所有情况下,Zn和S峰的能量都比Ar峰高约1.5 eV。改变EQP孔板与目标之间的位移,可以检测飞行距离的影响(图2)。正如预测的那样,当飞行距离增加时,离子的到达能量由于碰撞增加而降低。同样,压力的增加导致离子能量的降低。
图2。硫化锌离子的能量分布扫描和Ar分布与压力的函数。(一)36Ar曲线是压力的函数;(B)66Zn剖面与压力的关系;(C)32年代,36基于“增大化现实”技术,66Zn IED峰位置与飞行距离的函数关系;(D)32年代,36基于“增大化现实”技术,66Zn IED的峰值位置是压力的函数。
未来的研究
未来的研究重点是研究CdS和ZnS在O环境中反应溅射时的氧掺入情况2基于“增大化现实”技术。氧的掺入是通过硫的取代和/或反应发生的。在科罗拉多州丹佛市举行的2014年落基山美国真空学会研讨会上,研究小组的海报《IIB-VIA溅射研究中的能量分解四极质谱法》获得了第三位。
这些信息已经从Hiden Analytical提供的材料中获得,审查和改编。欧洲杯足球竞彩
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