各种主动隔振系统(活跃的系统)可用不同的硬件、软件和整体技术能力。仪器用户和制造商必须有一个全面了解这些差异,以选择一个适当的系统来支持他们的仪器在各自的环境中。
最近的一个区别是区分串行和并行的活动系统,与AVI和TS系列未来的并行活动系统目录下。这篇文章解释了串行和并行活动系统往往相比,有助于理解事实和虚构的差异。
神话和事实
神话:串行>并行活动系统低频隔振性能
事实:并行>串行活动系统低频隔振性能
反馈回路系统有源系统的广泛使用和有效的隔离机制。它包括一系列的惯性传感器,电子控制,动态和致动器,用于减弱环境振动噪声。
所有的反馈系统,包括惯性传感器的特点是低频截止由传感器的低频噪声。噪音水平的定义主要是惯性传感器的质量,它们各自不同活动系统。
之间建立一种平衡大小和低频响应的小型活动系统,如AVI和TS系列。质量是保持低,使结构紧凑适用于精密紧凑的显微镜。紧凑的大小限制了可用的0 - 1 Hz之间的孤立活动系统相比,具有质量越大惯性传感器。
为AVI系列(图1),低频传感器(LFS)系统(图2)开发的桥梁的性能通过提供一个质量越大惯性传感器,可以配合AVI系列达到优越的低频隔振。LFS系统耦合时,AVI系列提供更大的低频隔离性能在任何大质量反馈系统中,串行或并行。
图1所示。avi - 400直接支持SEM列
神话:并行活动系统需要调整负载
事实:并行活动系统高质量反馈回路不需要负载调优
有一种说法认为这个平台的整体隔离受限于并行活动系统将具体的要求优化负载支持。这个论点适用于一些商用并行活动系统,但不是所有的并行活动系统的一个标准特性。
这是一个功能的质量反馈回路系统设计有源系统。反馈回路系统的质量定义的范围的频率,可以通过它,如何更有效地阻尼共振的有效载荷。
图2。LFS系统
反馈回路被驱动到振荡由于相变引起的无阻尼共振的负载。设计良好的反馈循环的高频响应(几千赫)能有效抑制负载谐振消除他们的反馈回路中的振荡。
这是真实的情况AVI和TS系列平台。除了有一个宽的频率反馈回路,AVI和TS系列平台不需要调整到特定的载荷共振。保持这样的整个生产历史(图3)。
图3。共振
神话:解耦串行活动系统的负载提供了一个优势
事实:解耦串行活动系统的负载提供了一个劣势
串行活动系统使用一个更大的质量往往有一个贫穷的反馈响应,因为许多制造商报告数据100 Hz。这种限制迫使串行活动系统解耦本身的有效载荷约20 Hz。因此,被动隔离机制可以降低频率就越高。
尽管这种解耦消除负载谐振频率更高,它不考虑外部振动源的直接耦合负载本身。
解耦负载成为缺点由于积极的反馈循环系统不能直接应用于振动噪声传递给负载(如振动噪声不是从地板上)。
负载由一个惯性平台和分离20 Hz作为“串行”系统合理的隔离从地板振动,但性能恶化的程度当越来越多的外部连接的负载。有效载荷,如电子显微镜通常会被耦合到环境通过电缆、泵线,和管道,这意味着它是间接耦合到地板上。
虽然大多数的这些线和电缆在本质上是僵硬的,电缆刚度之和甚至可以接近或高于20 Hz解耦的刚度。因此,电缆和泵线将创建一个机械绕过有源系统本身,直接引入明显的振动载荷。
与间接设备振动源的问题被忽视了一个活跃的系统并行活动系统如缺席AVI和TS系列。这些系统地连接到负载和直接战斗部队进入有效载荷从地板上以及周围的环境。这是一个独特的差异化在串行活动系统中获益。
应该注意的是,所有活动系统将以非常高的频率与负载脱钩,由于橡胶英尺下载荷或由于内部共振的负载。然而,通常情况下,这个频率的范围将在几百赫兹,远离20 Hz系列活动系统的范围。
结论
重要的是有一个了解事实之间的差异活动隔离技术是为了帮助乐器实现最佳隔振性能实验室的条件。并行活动系统更有效地分离有效载荷从周围的力量。
理解这些变化和相应的规划不仅可以节省时间和金钱,但也使最终用户能够专注于他们的工作,而不是孤立的平台。
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