用于薄膜测量的样品系列光谱仪

多年来，紫外-可见-近红外模块光谱仪一直被用于表面薄膜的测量。例如，为了测量硅片表面的透光率和反射率，可以测量破坏性干涉和相干干涉，并且可以计算出薄膜的厚度，最小可达几十埃(最高可达几层)。

由于其快速的扫描速度、使用光纤探头的灵活性和可重复性，现代光谱仪模块是这种应用的理想选择。

图1所示。硅晶片

B&W Tek的Exemplar系列光谱仪的特点，使薄膜的测量是一个简单，快速，准确的过程。这些光谱仪具有1毫秒的低集成时间和低于95 ns的低触发延迟(±20抖动)。Exemplar光谱仪可重复且快速，符合OEM模块标准，可以轻松使用B&W Tek的软件开发工具包(SDK)实现(图2)。

图2。BWSpec^®移动增强移动光谱数据采集软件

范例系列的主要优势

Exemplar光谱仪提供了许多优势，包括1 ms的低集成时间;用于机载光谱处理的内建微处理器;外加35ns±5ns的低触发延时。该光谱仪还配有USB 3.0，方便高速数据传输。

多通道功能可以支持多达32个光谱仪，而不需要额外的硬件。此外，光谱仪的能力可以完全由SDK控制。

其他基本设备2020欧洲杯下注官网

为了在短时间内进行高质量的测量，必须有钨氘/钨卤源、光纤反射探头支架(FRPH)、光纤反射探头支架(FRPH)等范例系列分光计(UV-VIS-NIR)、软件开发工具包(SDK-S)、光纤反射探头或分叉光纤组件(FRP/BRS)。

图3。用Exemplar系列光谱仪和其他设备测量硅片表面的反射率。2020欧洲杯下注官网

该信息已从B&W Tek提供的材料中获取、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

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