洁净室空气中的物质排放和空气中的分子污染物

洁净室空气中的空气分子污染物

随着消费者对电子产品的性能要求越来越高,对精密工程和子部件以及硬盘驱动器等硅基材料的质量的需求也越来越大。欧洲杯足球竞彩

然而,存在的半挥发性有机化合物(SVOCs),在业界被称为空气分子污染物,会对这些组件的性能产生负面影响。具有挑战性的AMCs包括抗氧化剂、增塑剂(如邻苯二甲酸酯)、胺和酰胺、硅氧烷、阻燃剂和有机磷。

amc的主要来源之一是材料的排气,这些可能包括:欧洲杯足球竞彩

  • 计算机部件
  • 无尘室使用的建筑产品,包括塑料
  • 微粒空气过滤器
  • 耗材,如胶带、服装、手套、清洁材料等欧洲杯足球竞彩

由于amc以蒸汽形式存在,它们可以通过大多数标准的微粒空气过滤器,导致它们存在于洁净室环境中。因此,对技术行业,特别是半导体制造商来说,监测洁净室空气中的scvocs以及减少洁净室中使用的所有材料和产品的排放是非常重要的。欧洲杯足球竞彩

作为第一道防线,所有洁净室材料都由硬盘驱动器制造商预先筛选,以排出特定的SVOCs 欧洲杯足球竞彩(b.p. >150°C的有机物,称为“可冷凝物”,和胺)。

标准方法

2013年6月,发布了一项指导方针;VDI 2083-17A(洁净室技术-材料与要求洁净度的兼容性)。欧洲杯足球竞彩这定义了一种标准化的使用方法microchambers根据VOC的排出特性对洁净室适用材料进行分类。欧洲杯足球竞彩

该指南还包含一个用于材料选择和比较的数据库,并为所有参与洁净室规划和操作的工程师提供有用的工具,以帮助估计总挥发性有机化合物(TVOC)的预测欧洲杯足球竞彩水平。

与此同时,ASTM F1227和ASTM F1982等以前使用的方法已被撤销,全球微纳电子行业协会SEMI国际标准已承担了两种类似方法的出版工作:

  • SEMI E108-0307:用气相色谱/质谱法评估微型环境中释放出的有机污染物的测试方法
  • MF1982-1110:用热解吸气相色谱法分析硅片表面有机污染物的测试方法

直接和间接放气

以下方法被广泛用于评估排气:

  • 直接脱气-这包括在固定条件下(时间、温度、气体流量等)对部件或材料的总出气量的评估。欧洲杯足球竞彩这可以通过测量重量损失来实现,或者通过GC-MS直接热解吸(TD)来定性和定量鉴定释放的化合物
  • 间接出气-这涉及到“见证晶圆片”的分析——用于收集洁净室大气中挥发性物质的空白晶圆片

马克斯能提供什么

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洁净室的空气可以通过泵送采样进行常规监测吸着剂管,TD-GC-MS分析。

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在许多行业中,洁净室使用的材料的气体排放已经变得越来越重要,VOC的最大允许欧洲杯足球竞彩污染水平通常在航空航天、光伏和半导体行业的洁净室的规划阶段定义(按照VDI 2083-17A或ISO 14644-8)。

欧洲杯足球竞彩在洁净室或最终产品中使用的材料可以通过两种取样方法进行筛选:

  • 评估散装材料的代表性蒸气分布欧洲杯足球竞彩-这项技术使用了马克斯的微室/热萃取器,并在其中一个微室中放置克量的材料。这些微室随后被加热,同时施加气体流动,释放的蒸汽随后被收集到吸附剂管上,用于TD-GC-MS分析。每小时可采集约6个样品,且结果与参考方法相关,是快速检测排放物的理想工具
  • 用直接解吸法穷举小样品-这项技术非常简单,只需将少量(毫克)的样品放入一个空的TD管中。管子随后被加热,蒸汽通过TD-GC-MS分析(例如,使用uni -xr或来自marks的TD100-xr热脱附器)

这些资料是根据马科斯国际有限公司提供的资料而获得、审查和改编的。欧洲杯足球竞彩

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引用

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  • 美国心理学协会

    举办国际有限公司。(2018年7月31日)。洁净室空气中的物质排放和空气中的分子污染物。AZoM。于2021年10月07日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=13385检索。

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    举办国际有限公司。洁净室空气中的物质排放和空气分子污染物。AZoM.2021年10月07。< //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=13385 >。

  • 芝加哥

    举办国际有限公司。洁净室空气中的物质排放和空气分子污染物。AZoM。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=13385。(2021年10月7日生效)。

  • 哈佛大学

    Markes International Limited. 2018。洁净室空气中的物质排放和空气中的分子污染物.AZoM, viewed september 21, //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=13385。

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