为了提高微观组织的性能和可靠性,对其力学性能的准确了解至关重要。纳米压痕为测量小结构或薄膜的几何无关材料特性提供了一种标准方法。通过精确测量微观结构的几何形状,可以测量整体的力学行为。
另一种方法可用来直接计算结构本身的微观结构的力学行为。然而,由于各种不同的结构类型、形状和大小的广泛范围,这就需要一种高度多功能的工具,以满足所有这些不同的结构的要求。
另外,微结构通常具有动态作用,例如在涂层,致动器或传感器中。这种活性微结构的实例包括干粘合剂,超级疏水表面,电活性聚合物致动器或微胶囊。为了具有对这些活跃的微结构的定量理解,它们的行为不能准确地建模,并且应该在微观结构水平上量化。
FT-MTA03微机械测试与装配系统是最通用的微机械测试系统,能够对微结构的力学性能进行完整的分析。本文概述了一系列测试原则和应用程序。
微材料杨氏模量鉴定的纳米压痕
FT-MTA03提供力控制和位置控制的纳米凸缘,可用于小体积的局部材料测试。在负载应用期间,可倾斜显微镜可以实时对样品进行视觉观察。
软材料的纳米压痕欧洲杯足球竞彩
FT-MTA03的大位移范围加上低力传感功能,使其成为软材料表征的完美工具。在实验中,PDMS样品被球状尖端压痕。除了标准材料参数外,还提供了不同材料模型的力-位移-时间原始数据。
悬浮金刚石膜的机械性能映射
这里描述了用于可调谐微光学的纳米晶金刚石和氮化铝膜的测试。计算膜的刚度和地形。微膜的形貌在右上图中示出,而其刚度分布示于右下图中。左下图是通过膜的中心部分通过的刚度图的横截面。
显微组织的尺寸计量
微技术的进步使得能够制造极小的高纵横比结构。这种小型化导致机械和尺寸变形增加。FT-MTA03能够测量微观结构的机械性能和尺寸以优化制造工艺。(设备提供:IoneScu教授,纳诺伊州,EPFL)
不同方向的微观力学测试
在微制造工艺发展过程中,大量的工艺参数影响着MEMS结构的力学性能。在此应用中,使用FT-MTA03微机械测试与装配系统检测了一系列MEMS弯曲的面外刚度和面内刚度。
通过定义目标刚度的下限和上限,生成一个芯片映射来检测工作挠曲(绿色)和超出要求规格的挠曲(红色)。识别带有裂纹的弯曲(低刚度)或未从晶圆中正确排出的弯曲(非常高刚度)。通过绿化率与设备总数的比值来计算成品率是很简单的。
活性材料的电力行为欧洲杯足球竞彩
导电或共轭聚合物正在作为创新的微制造设备的智能材料接收很大的关注,包括传感器和执行器。欧洲杯足球竞彩在该应用中,测试致动力,偏转范围和横梁形电活性聚合物(EAP)致动器的时响应。
当束状微致动器夹在两个电极之间时,驱动信号可用于驱动微致动器。顶端的图显示了EAP致动器光束尖端对致动电压的最大挠度。下图显示了EAP驱动器产生的驱动力和方波驱动信号与时间的关系。
此信息已采购,从Femtotools AG提供的材料进行审核和调整。欧洲杯足球竞彩
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