气动空气工作台历来是研究和制造洁净室中降低振动的可靠选择，在这些洁净室中使用重要的微工程仪器。
随着技术缓慢推动微电子制造，工业激光器或光学系统以及生物研究，随着技术缓慢推动纳米应用的近视，需求增加了。
气动空气桌越来越多地占据了新技术的后座负刚度振动隔离．
自20多年前推出以来，它已在一系列政府、工业和学术领域的数千个应用中提供了帮助，包括一些最灵活和复杂的环境，例如洁净室。
振动源
振动可能是几个因素的结果。所有的结构都会产生噪声。建筑物内的供暖和通风系统、水泵、电梯和风扇只是产生振动的机械设备中的几个。
考虑到洁净室设备从这些振动源定位有多远，并且设备位于结构中的设备，例如在地下室2020欧洲杯下注官网或三楼的结构中，将建立对设备的影响力。
建筑物外部的因素会影响设备，包括附近道路交通的振动、建筑物附近的施工、飞机的噪音，甚至风和其他天气条件都会导致建筑物的运动。2020欧洲杯下注官网
从2到20000 Hz的振动会影响敏感设备。2020欧洲杯下注官网通过该结构传输的较低频率振动主要由内部和外部因素引起，在洁净室中使用的精密设备中产生强烈的干扰。2020欧洲杯下注官网
隔振设备2020欧洲杯下注官网
洁净室是广泛用于生物技术，生命科学，半导体制造和对环境污染物高度敏感的不同领域，如化学蒸气，气溶胶颗欧洲杯线上买球粒，空气传播微生物和灰尘。欧洲杯猜球平台
它们提供有限的环境，其受管污染水平的污染水平，该污染水平由特定粒度的每个立方米的颗粒数确定。欧洲杯猜球平台
进入洁净室的外部空气经过过滤，将灰尘带走，而洁净室内部的空气总是通过高效微粒空气(HEPA)和/或超低微粒空气(ULPA)过滤器进行再循环，以消除内部产生的污染物。
激光干涉仪振动隔离
2020欧洲杯下注官网必须创建洁净室内的设备以产生最少的空气污染。
这需要振动隔离设备，其始于相对简单的金属弹簧，面包板和橡胶块，以高2020欧洲杯下注官网效的空气系统，有源电子系统和负刚度系统，所有这些都以越来越多的材料和技术为更高的精度创造欧洲杯足球竞彩在振动隔离。
振动隔离桌和工作站是满足与振动保护的组件相同的污染和洁净室标准。
可以获得完全封闭的隔离模块和排气排气系统，以保持这些工作站遵守洁净室标准。
应设计隔离桌的所有表面，以便轻松实现清洁和擦拭以确保清洁。
隔离器隔膜应满足总质量损失，压缩的除气和非易失性残留规范，以保持分子污染到完全最小。
负刚度与气动隔离
自20世纪60年代以来，空气工作台被用于隔振，并在洁净室中拥有最大的安装基础。
尽管使用空气桌，所需的振动隔离技术需要更精确的振动隔离技术来解决低赫兹振动，这会产生负面影响。这对于仪器敏感性的增加尤其重要，尤其是在子类别水平。
负刚度隔振技术是在20多年前由Minus K Technology推出的，专门用于隔离这些低频扰动。
以下是负刚度隔振器和空气工作台之间的基本比较，在考虑洁净室应用的隔振时应进行评估:
垂直和水平隔离
空中工作台实现了隔离，但主要是在垂直向量上降低了水平隔离。
由于建筑物振动不太明显，水平向量通常不考虑，但它们仍然传输到洁净室设备。2020欧洲杯下注官网负刚度隔离器在水平和垂直方向上实现高度隔离。
低赫兹振动的传递率
振动传递是根据输入振动通过隔离器传输的振动的评估。每个隔离器将以其谐振频率放大，然后开始隔离。
空气系统增强而不是减少振动，在1.5至3赫兹的正常范围内，因为它们的自然频率空气表共振。
低周期扰动将直接通过仪器达到。空气表并不与非常低的共振频率所需的程度隔离。
负刚度隔离器在0.5 Hz下共振。在某些情况下，它们在水平和垂直方向上都能产生较低频率的共振。在这个频率下几乎没有能量存在。
在0.5赫兹发现一个显著的振动是非常罕见的。频率在0.7 Hz以上的振动随着频率的增加而迅速衰减。
应当注意，对于具有0.5Hz自然频率的隔离系统，隔离在0.7Hz开始，随着振动频率的增加而变好。
通常使用自然频率来描述系统的性能。当调整到0.5Hz的固有频率时，负刚度隔离器在2 Hz振动中具有大约93％的隔离效率，5 Hz为99％，10 Hz为99.7％。
某些低高度负刚度隔离器为1.5Hz水平和0.5Hz垂直提供1.5 Hz的自然频率。当不需要较低的时，负刚度隔离器具有在更低的谐振频率定制更高的共振频率的灵活性。
机械简单
气动隔离表的动力供应气体氮或压缩空气。当在洁净室环境(10000级及以下)中使用时，排放和供应的气体必须通过管道排出控制区，以保证气体不会污染洁净室环境。位于洁净室外部的空压机本身就是低频机械振动的来源。
负刚度隔离器利用完全机械概念，无需电力或空气。没有泵，腔室或电机，并且不需要维护，因为没有任何东西可以磨损。它们在被动机械模式下完全起作用。
坚硬的弹簧支撑重载荷，与负刚度机构相结合，提供垂直运动隔离。整体垂直刚度非常低，而不会影响弹簧支撑静载荷的能力。
与垂直运动隔离器串联的梁柱提供水平运动隔离。梁柱的作用是作为一个弹簧和一个负刚度机构。
如果能够在不需要压缩空气或电力的情况下，将洁净室中的敏感设备与振动隔离开来，那2020欧洲杯下注官网么就可以创建一个更容易安装、更容易安装、更可靠的长期维护和运行系统。
位置的灵活性
空气工作台大且难以操作，这使得它们不适合满足洁净室有限的生产和实验室空间要求。
负刚度系统可以在占用最小空间的情况下进行紧凑。仪器可以在设施周围固定或运输，而无需对空气软管和电力的馈通顾虑。如果需要更大的工作空间，还可提供大的负刚度工作站。
负刚度隔振系统由于非常高的隔离效率，可以启用敏感仪器。
这些灵敏的仪器包括扫描电子显微镜、光学轮廓仪、激光干涉仪和扫描探针显微镜。它们可以安装在必须布置洁净室的任何地方，无论是在六楼还是地下室。
极端振动敏感环境不会是气动隔离系统的足够位置。
随着湿度的环境在洁净室的放置方面变得更加频繁，将需要优化的振动隔离解决方案，而过去50年的空气桌子相比需要进行优化的振动隔离解决方案。负刚度振动隔离正在解决这一挑战。
这些信息已经从Minus K Technology提供的材料中获得、审查和改编。欧洲杯足球竞彩
有关此来源的更多信息，请访问- K技术。