新型柔性光电子器件的可靠性在很大程度上依赖于沉积在聚合物衬底上的薄陶瓷氧化物层的弹性。目前存在的最流行的组合之一是在聚酯基板(如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET))上薄薄地涂上一层铟锡氧化物(ITO)。ITO层的厚度一般在几百纳米左右,极易开裂。这一层的阻力急剧增加,它是无用的,因为这一层经历开裂和分层的基体。
沉积后对该氧化物层的力学性能的表征非常重要。早期研究了沉积在玻璃上的ITO的性质,但这些性质可以与ITO层具有无定形结构时沉积在玻璃上时的性质。聚合物基材和ITO之间的模量的大不匹配也可以影响与基材的粘附性和测量的硬度值。因此,ITO涂层PET系统的划痕测试和缩进是非常有价值的,但直接的测试可能并不总是一个选项。
在在软聚合物基质上的薄硬涂层组成的系统上进行刮擦测试和压痕时,存在许多挑战。必须确保基板效应不会影响涂层数据。
图1。负载深度曲线3涂层厚度。
图2。4个正常载荷和3个涂层厚度下残余压痕的光学显微镜图(1000倍放大)。
本文中描述的技术包括用球形压痕的纳米压痕,以促进脆性层和纳秒测试的周向裂缝,以促进粘合剂衰竭。
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