监测空气分子污染(AMC)与IONICON AMC监视器

在高科技制造过程中，空气中的分子污染(AMC)是一个主要问题。这些污染物现在可以通过IONICON AMC-Monitor连续实时监测。

半导体工业-无尘室AMC监控

空气传播分子污染(AMC)是高科技制造过程中的一个主要问题，特别是在半导体和微电子工业的生产中。有机污染会对生产过程和生产工具造成不良影响，从而增加成本。

无污染制造是一个可行的目标，可以通过空气处理系统中的源控制和源监测以及过滤解决方案来实现。通过永久监测AMC水平，可以识别来源、稳定生产和防止过滤单元使用寿命的意外不足。

IONICON提供超灵敏的实时痕量气体监测解决方案，还提供强大的工具来识别有机污染，并持续监测生产工具和洁净室环境。

AMC-Monitor测量结果-洁净室环境测试

AMC- monitor具有连续监测AMC的实时检测限制低至1 pptv的能力。

在洁净室环境中，AMC污染的程度主要是由内部来源造成的，如溶剂泄漏或溢出、废气的再夹带、回风和环境空气中的芳香化合物、材料的排气，甚至是用于晶圆传输的foup。有机污染可能会导致严重的成本损失，工具关闭时间或晶圆损坏。

AMC-Monitor旨在监测生产关键化合物，如邻苯二甲酸盐，磷酸盐和其他VOCs。可以立即在线检测到可能导致产量损失和生产故障的事件。为了优化流程，可以实施纠正措施。

自动监控系统- amc -监视器T-1000

的AMC-Monitor t - 1000是最新一代的实时和在线设备，监测最易挥发的有机和几种无机化合物的并行。2020欧洲杯下注官网基于IONICON著名的PTR-MS和飞行时间(TOF)技术，AMC-Monitor T-1000在过程环境中动态污染水平检测方面设立了新的标准，提供以下好处:

• pptv-level检测极限。
• 对复杂混合物具有更高的灵敏度和更快的速度。
• 整个质量范围是在一瞬间测量的。
• 测量频率高，与化合物的数量无关。
• 所有化合物，甚至未知化合物，都被记录下来。
• 总VOC值很容易产生
• 高质量分辨率，更好的分离和鉴定

24/7实时监测允许检测短期泄漏和泄漏，跟踪和记录AMC水平，并快速预警临界浓度。高采样频率还允许通过可选的多路复用系统并行监控多个采样点。

这使得对洁净室环境的并行监控成为可能，而且在FOUP或工具级也可以实现，这在目前半导体生产过程中起着主要作用。

AMC-Monitor系列可以轻松地专门用于各种监控应用程序，通过加载应用程序特定的测量配方。

该信息的来源、审查和改编来自IONICON Analytik提供的材料。欧洲杯足球竞彩

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