半导体:为您的工艺需求提供可靠的在线、在线和内联解决方案

图1所示。

集成电路是现代电子产品的基本组成部分。在这个数字时代，更小、更快和更强大的处理器是许多商品和服务的一致需求。半导体行业主要负责发展当代社会的各个方面，因为很多服务都是数字化和互联的(例如物联网、大数据和智能电网)。

考虑到工作表面的尺寸(纳米级)，清洁在半导体制造设备中是至关重要的。顶级制造商必须遵循严格的生产控制程序，因为各种形式的污染物可能导致缺陷。

一个制造工厂每天可以使用多达1500万升的超纯水。即使是细菌也必须被消灭，因为它们含有的微量元素可以改变用于制造集成电路晶体管的硅片的电学性质。

将原材料(单晶硅)加工成完整的集成电路涉及不同的阶段。每个阶段都需要非常注意，以保证成品的高质量。通过在线监测水质、镀液中金属含量、蚀刻液中酸的含量等参数进行工艺优化，不仅节省了时间，而且大大降低了生产成本。Metrohm Process Analytics提供在线过程分析这在任何半导体工厂中都是必不可少的，以使工艺更接近严格的规格，提高不同的制造阶段，并减少浪费。

	FEOL 线路前端				BEOL 线路后端
SC1 / SC2清洁 用于晶圆制备的超纯水 TMAH在开发人员 混合酸蚀刻槽分析 蚀刻清洗剂溶液的组成 CMP浆液中的过氧化氢 硫酸和过氧化氢混合物在光刻胶剥离				CMP浆液中的过氧化氢 TMAH在开发人员 蚀刻槽(混合酸)成分 大马士革法酸性铜槽的测量 电镀液中的重金属浓度 电镀液中有机添加剂的浓度 化学铜/镍和次亚磷酸盐[H2阿宝2-］
SUBFAB
•用于化学品分配和稀释的超纯水质量 •H2O2， pH值，温度和电导率的浆料生产，混合和分配 •用于化学品输送的ECP清洁(酸) •化学稀释系统中的氟化氢 •化学稀释系统中的铵 •氯[Cl-]在H2所以4回收系统

概述Metrohm过程分析公司在半导体工厂不同领域销售的各种应用程序。

超纯水规范

在集成电路的制造中，消耗最多的化学物质实际上是超纯水。一些工厂现场生产超纯水，因为它在几个领域都是需要的，从蚀刻步骤后的漂洗到子工厂的浓缩化学品的稀释。通过对该超纯水的微量分析，可以确定离子交换器上游的工作效率。杂质会导致蚀刻不均匀或镀层不均匀，这可能会比离子交换器的预防性维护成本高出许多倍。

循环生产废水

遵守监管机构的规定是必要的，随着每年越来越严格的指导方针的演变，检查废水并确保处理设施有效工作是非常重要的。Metrohm process Analytics公司提供了多个过程分析仪，可以测量废物流中的单个到多个组件，并为工厂周围更具挑战性的区域提供定制的样品预处理设置和百叶箱。

• 稀金属废料流分析
• 浓缩铜废物分析
• 废水监测的几个组成部分

Metrohm过程分析在许多不同的分析仪配置中提供不同的分析方法，以满足任何需求，如离子色谱，光度法，近红外光谱，滴定和离子选择测量。瑞士万通的在线过程分析定制样品预处理系统在荷兰开发，并由Metrohm全球服务工程师维护。

应用程序

电镀槽的生产控制

循环脉冲伏安溶出分析(CPVS)和循环伏安溶出分析(CVS)是目前广泛应用于电镀液中有机添加剂鉴定的方法。对于各种技术涂料，特别是印刷电路板和半导体元件的制造，该方法是生产控制的重要组成部分。使用Metrohm ADI 2045VA工艺分析仪进行在线分析，无需逐步重复的实验室质量控制，确保镀液的连续和无干扰功能。

• 即使在盐水条件下也能精确测量
• 准确测量光亮剂，水平仪和抑制器
• 浓度在mL添加剂每L浴液
• 适用于锡铅浴、碱性锌浴、锡浴、酸性铜浴等。

过程离子色谱仪

快速，原位，非破坏性分析

使用在线近红外光谱(NIRS)，浴液成分，化学品纯度和其他过程可以很容易地跟踪24小时。近红外光谱无化学过程分析可获得实时数据，与其他分析方法相比，节省了时间和金钱。多路复用器的选择，使监测许多浴由同一分析仪，从透明的液体不透明的浆。近红外光谱还可以用来分析晶圆片的表面。

• 混酸浴
• TMAH在水中
• 保持/原版星际2
• HF-Dip
• HotPhos (H_3.阿宝₄在水里)

ADI 2045VA过程分析仪

单趟多组分测定

离子色谱(IC)允许测定许多主要和次要成分的电镀液和微量杂质的形式的无机和有机离子或极性物质，具有很高的精度和可靠性。一个关键的优点是化学上相似的物质可以在离子色谱的单一分析中同时测定。分析物的浓度范围可能从ng/L到%的限值。通过将样品递送与米氏的多种内联样品制备技术中的一种集成，可以防止干扰基质效应。

• 电镀槽中的杂质
• 蚀刻溶液中的浓酸
• 镍浴硝酸盐
• 乳剂和含皂洗涤液中的离子分析
• 超纯水痕量分析

NIRS XDS过程分析仪

近红外线分析仪专业

这些信息都是从米特hm AG提供的材料中获取、审查和改编的。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问瑞士万通公司．