.jpg)
这不是容易选择一个温度传感器:热敏电阻、热电偶或RTD吗?但测量炉内温度可以提出许多挑战:温度循环,高温和敌意氛围超过极限的几种测量设备而其他人则显著降低寿命和精度差。本文方法主要是两个特别的挑战与炉温度测量:类型的氧化和减少大气层熔炉在微电子制造就业。
熔炉概述
需要热是常见的制造工艺。粘合剂和橡胶是治愈,金属退火,以调整自己的属性和冶金、涂料是干燥的,融化金属,陶瓷釉面或解雇。这些过程是在烤箱,通过气体或电加热。烤箱,可以加热到1000°C (1832°F)以上被称为火炉一样。窑是一种特定类型的炉应用于陶瓷。在高温下的材料开始反应与周围的气氛。欧洲杯足球竞彩
如果气氛极其缺乏氧气,它可能把氧气从被加热的材料。这样的气氛被称为“减少”。一般来说,气体加热导致缺氧的气氛。材料被加热将捕获一个比例,形成氧化层,如果是富氧气氛。这种被称为“氧化气氛。“这是在扩散炉用于微电子制造执行过程产生SiO2。电加热更可能产生氧化气氛。控制大气中可以以多种方式实现。气体可能是管道室,可以开发一个惰性气氛。或者,可以使用真空炉。
高温测量选项
.jpg)
股上扬,XMO XPA,新系列
上限为热敏电阻设备约100°C (212°F)和高压仅限于在750°C (1382°F)。这使得热电偶和红外高温计或成像系统最理想的设备测量的温度超过1000°C (1832°F)。
热电偶
热电偶利用塞贝克效应,EMF不同金属之间的差异,为了产生一个信号与温度成正比。Nickelalumel和镍铬金属对最常用什么叫做“K型热电偶。
K是低价类型,可以使用在一个温度范围从-200到1250°C(-328到2282°F)。然而,冶金变化在温度超过1000°C (1832°F)降低精度,和骑自行车通过这个温度诱发磁滞效应,进一步降低精度。K型热电偶也容易受到腐蚀氧化气氛。
热电偶可以失败在职或被损坏,需要更换。如果需要关闭和冷却连续炉可以是一个昂贵而困难的任务。出于这个原因,它是常见的,包括冗余的热电偶在加热室。
红外测温
.jpg)
OS530E-DM E系列
一个方便的非接触式测量方法提出了高温红外(IR)测温。这项技术利用了木板的法律,即强度和波长的红外辐射表面温度成正比。热像仪或高温计检测到辐射,改变温度的信号。
红外测温功能当热材料的表面接触,如熔融金属的包。用它来测量炉内温度更为复杂,因为它必须透过一扇窗。这个窗口有必要传输红外辐射的波长对应被测温度和探测器的灵敏度。
普通玻璃是不透明的红外波长,主要是6和7微米之间。硫族化物玻璃开发尤其是红外传输应用,但仅限于周围温度低于370°C (698°F)。蓝宝石被认为是另一个窗口材料的发射波长4微米但适度柔软而容易损坏。
蓝宝石红外窗口的设计不应该有任何预测,这将使它容易受到损害时用作观察口。蓝宝石也有一个温度极限约450°C (842°F),使其不适合炉温度测量。
发射率与pryometry总是被认为是一个问题:不同的材料在相同的温度下辐射不同的红外辐射强度,它是必要的传感器校准。欧洲杯足球竞彩窗口将会影响辐射传播。
高温热电偶
两个家庭的热电偶,铂铑和那些使用钨铼连接。钨铼热电偶(类型G、C和D)函数在温度高达2320°C (4208°F),但将无法生存氧化气氛。
铂铑热电偶,有时被称为“贵金属热电偶,”应该选择氧化大气。这些可用的年代,(最多1450°C (2642°F)], R型(最多1460°C (2660°F)和B(最多1700°C (3092°F)]。他们甚至比基本金属热电偶更贵。
鞘的热电偶
是很常见的保护热电偶导线安置在一个保护管或鞘基于安装。不锈钢是广泛用作低价和抗腐蚀。然而,它的熔点在1400°C (2552°F),限制服务温度在1100°C (2012°F)和响应氧化大气。
考虑使用钼或钽鞘为最高温度的能力。这些会上升到2315°C (4199°F)和2200°C (3992°F)分别氧化虽然都是敏感的,所以不应该用于氧化大气。
替代陶瓷鞘能够承受1960°C (3560°F),铂铑合金鞘能够承受1650°C (3002°F),或铬镍铁合金®600年上升到1150°C (2102°F)。所有的这些有可能处理氧化大气。
护套材料欧洲杯足球竞彩
| 代码 |
材料 |
最大操作温度 |
工作环境 |
熔点约 |
讲话 |
| 股上扬 |
钽 |
2300°C
4200°F |
真空 |
3000°C
5425°F |
抵制许多酸和弱碱性液。非常敏感的氧化300°C (570°F)以上。 |
| XMO * |
钼 |
2200°C
4000°F |
惰性真空降低 |
2610°C
4730°F |
敏感氧化204°C (400°F)以上。Non-bendable。 |
| XPA |
铂铑合金 |
1650°C
3000°F |
氧化惰性 |
1870°C
3400°F |
没有攻击二氧化硫1093°C (2000°F)。硅是有害的。卤素攻击在高温度。 |
| 鑫 |
铬镍铁合金600 |
1150°C
2100°F |
氧化惰性真空 |
1400°C
2550°F |
优秀的抗氧化在高温度。氢脆化。对硫腐蚀非常敏感。 |
*难熔金属极为敏感的氧气大约260°C (500°F)以上。
热电偶绝缘
.jpg)
XC、XC4和XS绝缘
绝缘是集成到一个热电偶鞘为了防止电线接触。很重要的绝缘温度额定值适当的环境。常见的材料炉温欧洲杯足球竞彩度氧化镁、氧化铝和氧化铪。氧化铝组成的最高额定温度为1540°C (2804°F),而氧化镁和氧化铪将1650°C (3002°F)。
外卖
热电偶温度测量被认为是一个很好的选择在炉内。而广泛使用“K型热电偶将处理炉温度,改进的性能是由类型G、C和D和R, S和B。
使用何种类型的气氛变成了一个重要的考虑在炉温度。特别是,一个氧化气氛,采用微电子制造、会引起反应两种类型G、C和D和不锈钢鞘经常使用。
红外测温另一种测量高温,然而,它需要一个窗口或窗口测量炉内。由于这个原因,它通常是首选,当有一个不间断的视线。
这些信息已经采购,审核并改编自ω提供的材料工程有限公司欧洲杯足球竞彩
在这个来源的更多信息,请访问ω工程有限公司