过去，SEM的最佳使用意味着在处理样品时要烘烤柱体并小心戴手套，但随着特征尺寸的减小，这可能还不够。
SEM真空室中的碳氢化合物积聚可能导致低于理想分辨率。电子束与污染物发生反应，然后在样品上沉积碳，这可能导致充电并降低图像对比度。传统上，氧等离子体被用于在真空中清洁表面。O2.分解成氧离子和自由基，有效去除有机污染物。
低能等离子清洗机
制造商已经生产出能将氧离子和自由基从“稀薄空气”中抽出来的低能等离子清洁器。虽然这看起来像是“蛇油”，但它确实有效。虽然这种方法非常慢，但它确实有效，几乎没有设置，并且易于使用。“脏”系统需要几天甚至几周的初始清洁。
这个蒸发管®去污剂改为使用焊接级氧气。进行的调查表明，在速度和效率方面存在昼夜比较。与使用环境空气数周相比，一次或两次为期四小时的氧气治疗更有效。
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图1。氧气罐连接至Evactron去污器低能等离子清洁器。红色管道将瓶子/调节器连接到蒸发管的进气口。
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图2。在使用氧等离子体清洁腔室4小时之前（左）和之后（右）。
工作原理
等离子体的工作原理是将气体原子转化为自由基和离子。气体原子在高频磁场的作用下发生疯狂的振荡，破坏键并发出发光。然后自由基和离子完成所有工作。氧离子和自由基是非常有效的清洁剂。在清洁过程中，氧气自由基和离子与SEM中的碳氢化合物发生反应。这些反应产生一氧化碳2.，CO和H2.O然后通过真空泵将其从系统中排除。
当使用空气作为工艺气体时，除氧离子和自由基外，还会产生氮离子。氮离子有助于清洁过程，并与氧离子和自由基重新结合。然而，由于空气中含有70%的氮，长寿命氧活性物种的可能性较小。当它们的寿命减少时，它们的平均自由程也会减少，使得清洁离等离子体更远的地方的可能性降低。当使用氧气作为工艺气体时，不会有掠夺性的氮气阻碍。由于氧离子和自由基的限制较少，它们可以移动得更远，清洁得更好。
结论
了解低能等离子体系统如何转化为与氧气一起工作是很有趣的。去一家焊接用品店买了一个调节器和一瓶O2.. XEI Scientific准备从一点管子和一些配件开始。调节器就位后，瓶子打开，调节器几乎无法打开，以产生恒定的氧气流。一旦管道连接到等离子系统的泄漏端口，它就准备好了。
参考文献和进一步阅读
- Neal Sullivan等人，《显微镜和显微分析》，2002年
- T.C.Isabell和P.E.Fischione，等离子体科学，1998年。欧洲杯线上买球
- http://en.wikipedia.org/wiki/Plasma_cleaning
本信息来源、审查和改编自XEI Scientific提供的材料。欧洲杯足球竞彩
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