同步rotron是一个强大的X射线源。这里,通过高度加速的电子产生X射线,在改变方向时在X射线波长下发射能量。这些X射线束被引导到具有束线的实验端站。在终端站中,它们与物质相互作用,有助于研究不同材料的性质。欧洲杯足球竞彩与可见光相比,X射线波长远短得多,这使得与传统显微镜相比可以探测更小的结构(纳米范围)。
根据其能量,X射线具有高穿透功能。因此,它们通常用于成像。光束高度集中,这使得样品定位了一个主要问题。因此,应持续和记录样品位置的检测,触发和反馈。
开源接口,BiSS-C基于RS422协议,支持高达10mhz的信号传输[1].处理外部触发信号的选项,也支持高达10mhz,允许多个设备同步。考虑到同步数据通信的需求,attocube提供了一个IDS3010与BiSS-C接口,满足钻石光源和欧姆龙/Delta Tau的标准。
误差运动和振动传播是用于在纳米范围内移动物体的高精度系统中运动精度的重要信息。由于此,同步rotron设施继续升级并开发不同的组件以跟上最新的可用技术。最近,BeamLine I08使用升级终止使用attocube干涉仪IDS3010使用BISS-C接口。金刚石光源的实验设置是同步触发和跟踪八个不同的线性轴的运动。Delta Tau“Geobrick”控制器控制这八个轴。Delta Tau“Geobrick”控制器可确保来自所有八个轴的准确时间戳数据,即三个IDS3010设备。
设置
图1显示了设置的简化版本。它由三种运动模块组成:在底部定位的手动,位于步进电机的顶部,用于更粗糙的调节,最后在该基于压电的定位器的顶部进行精细运动。所有三个模块都可以在X - ,Y和Z方向上移动。完整的设置由九个线性运动组成,由8轴跟踪,由M12 / C1.6高真空兼容传感器头组成。由于样本的位置与三个模块的每次移动相关,因此需要跟踪每个运动。两种误差运动(寄生运动)与样品的位置相关:通过将定位器移动到连接定位器和样品的定位器引起的振动以及由定位器之间的非平行安装引起的不均匀运动。
图1所示。安装的草图。8个传感器头M12/C1.6显示监控3个模块,每个模块由三维X, Y, Z运动。整个装置是在高真空中进行的。
测量结果
图2示出了测量示例,其仅涉及上模块中的基于X,Y和Z基的定位器。使用5 nm步尺寸在x方向上移动细压电定位器的同时示出了两个寄生运动。红线(X轴)示出了在10步之后在一个方向上移动的定位器,定位器用一个50nm的步骤移动。蓝线(Y轴)示出了与水平电平的定位器的运动正交的精细定位器的误差运动。
噪声振动是由定位器运动产生的振动传播引起的。这条线显示每步有10nm的线性偏移。这种偏移源于不完美的平行安装之间的X和Y定位器。利用其他轴的信息,这种非正交安装可以得到补偿。绿线(z轴)表示精细定位器的垂直运动。只有在50nm的最后一步出现了相当大的垂直位置变化,可能是由于快速振动引起的。
图2。蓝色曲线表示水面和传感器头部的运动,红色曲线表示用锤子撞击光学台后在镜面侧面测得的位移。
不同测量轴的同步运动捕捉和数据采集由BiSS-C接口在picometer分辨率的基础上实现IDS3010。该实时界面有助于同时触发多个测量轴。在该示例中,触发了八个IDS设备的轴,用于同步数据采集。使用与Delta Tau上的主控制连接的BISS-C接口,可以从定位器以及八个干涉仪轴上读取八个增量编码器。它还给出绝对定位器,而无需交叉任何参考轴。
参考
[1] BiSS-C官方网站:http://www.biss-interface.com/
[2] IDS3010接口描述http://attocube.com/attosensorics/ids-sensors/ids3010/
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