将3D添加到FIB或SEM表面成像信息

由Raith2017年12月8日

在使用聚焦离子束(FIB)铣削或基于电阻的电子束光刻(EBL)工艺的传统纳米制造应用中，纳米图案技术和相关参数通常是很好的理解。

本文展示了新的Raith NanoSense用于原位表面传感和聚焦离子和电子束诱导工艺验证的纳米轮廓测量。

复杂和具有挑战性的沉积工艺使用FEBIP。

复杂和具有挑战性的沉积工艺使用FEBIP。图片来源:Raith

然而，涉及复杂的FIB图案化任务或3D聚焦电子或离子束诱导的沉积/蚀刻工艺（FIBIP / FIBIP）在新材料上的接地和复杂的纳米制造应用可能需要详细和复杂的过程优化和验证，通常在耗时欧洲杯足球竞彩迭代周期。这是因为这些复杂过程具有几乎“无限”的可变参数，涉及气体化学或新的离子物种。SEM成像仅提供2D信息，因此通常涉及横截面或AFM技术来恢复所需的3D信息。

Nanosense扫描原理。

Nanosense扫描原理。图片来源:Raith

沉积速率测定

使用沉积线的高度曲线施加电子束诱导沉积的沉积速率确定的示例。图片来源:Raith

高效的三维铣削轮廓可视化

新的Raith NanoSense,可用于eLINE Plus和ionLINE Plus，提供了一个更简单、更有效的解决方案，以帮助在几分钟内完成FIBIP/FEBIP和现场铣削工艺的认证。纳米轮廓扫描，意味着添加剂(沉积)和减法(铣削/蚀刻)表面处理，产生3D信息，以一种高效的方式确定铣削或沉积速率，无需使用FIB-SEM技术或单一的样品上传和原位AFM分析。

在ELINE PLUS和IONLINE PLUS中，可以实施纳米键以实现3D纳米结构的一致，预期和可再现的结果，以及验证和优化复杂的纳米制造任务。标准纳米罐适用于可以使用表面敏感传感器升级的两个系统，以按5 NM的顺序创建高度分辨率。

用相同的铣削剂量铣削矩形

铣削一个矩形与相同的铣削剂量，但应用不同的模式策略。(单遍、多遍、同心向外单遍)。图片来源:Raith

相应的二维SEM成像信息

相应的2D SEM成像信息不足以进行定性处理验证。图片来源:Raith

Nanoprofilometric线扫描

纳米轮廓线扫描显示相应的铣削策略的结果铣削轮廓。图片来源:Raith

该信息的来源、审查和改编来自Raith提供的材料。欧洲杯足球竞彩

欲了解更多信息，请访问Raith．

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Raith。(2020年5月18日)。添加3D FIB或SEM表面成像信息。AZoM。2021年7月4日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=14893取回。
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Raith。“向FIB或SEM表面成像信息添加3D”。AZoM．7月20日2021年7月04. 。
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Raith。“向FIB或SEM表面成像信息添加3D”。AZoM。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=14893。(访问2021年7月4日)。
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Raith》2020。将3D添加到FIB或SEM表面成像信息．《AZoM》，2021年7月4日观看，//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=14893。