基于三维重建的金属表面质量控制

质量控制和测试是光滑反射表面制造过程中重要和不可分割的一部分。研究表面以寻找腐蚀、裂纹、杂质、凹痕和气孔的迹象。一种局部形式的腐蚀，称为点蚀，导致形成微小的空洞，这些空洞可以在表面以下深处生长。

在本文中，VEGA3扫描电子显微镜与Alicona MeX 3D计量软件集成，用于阿塔卡马大型毫米阵列(ALMA)望远镜反射表面样品的表面检测和凹坑评估。

过程

通过稍微倾斜电子束，或者通过允许更宽角度的观察，可以从不同角度获得样品的一系列图像。前者适用于较短的工作距离和相对平坦的样品，而后者可以在较大的工作距离下成像地形样品。该软件随后使用采集的图像来恢复每个观测点的空间坐标，从而可以重建试样表面的真实三维模型。使用数据集可以测量样本的粗糙度、轮廓、体积、面积和Z”高度。这些功能使测量表面质量控制应用的地形工件成为可能。

在这里，人工制品是由于不完美的镍和金涂层而产生的点蚀。进行了表面重建和三维测量，以评估点蚀的深度，并确定损伤是否到达主要材料。

结果

重构图1,2所示的缺陷轮廓(图3,4)后，将其深度确定为5 μm左右(图5)。这意味着这类缺陷大大超出了0.1 μm的合适极限。

进一步的评论

进一步的点蚀检查可以使用补充能量色散x射线显微分析(EDS)。能谱分析技术可以准确地测定受点蚀影响的层数。三维表面重建并不局限于金属表面，它可以成功地应用于许多其他领域。

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TESCAN成立于1991年，由特斯拉的一群管理人员和工程师组成，其电子显微镜的历史始于1950年，如今TESCAN是聚焦离子束工作站、扫描电子显微镜和光学显微镜的全球知名供应商。TESCAN的创新解决方案和与客户的协作性质使其在纳米和微技术领域处于领先地位。该公司很自豪地参与了一系列科学领域的卓越机构的首要研究项目。TESCAN在价值、质量和可靠性方面为客户提供一流的产品。TESCAN USA inc .)的北美手臂TESCAN奥赛控股一家跨国公司合并建立的TESCAN捷克公司,全球领先供应商的sem和聚焦离子束工作站、物理奥赛和法国公司,世界领先的定制的聚焦离子束和电子束技术。

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