薄膜电池的沉积系统研究

的电池，它可以追溯到18岁以下^th和19岁的早期^thCentury，无疑为目前的技术的发展做出了贡献。最后一百年已经看过各种各样的电池化学和配置，从Volta的基本电化学电池与Cu和Zn电极的基本电化学电池，与氧化锂阴极，固体电解质和石墨阳极的现代薄膜电池。

锂离子(Li-ion)电池是主要的电池技术平台。这是因为锂离子技术比其他电池化学物质具有更有利的性能。这些特性包括高能量密度(~250 Wh/kg)和最小的记忆效应。

在较新的发展，更复杂的发展中，更加复杂的技术，需要安全，轻质和持久的电池的需求从未如此大。因此，预计未来10年将看到锂离子电池市场飙升至至少500亿美元（USD）。特别是薄膜电池的市场是由对可穿戴，可运输的技术的强烈需求驱动，并基于事物互联网（物联网）。

薄膜电池结构

薄膜电池确实是真实的;阳极，阴极和电解质的层厚度为0.001mm。它们通常通过热蒸发和溅射使用物理气相沉积沉积。

锂基薄膜电池示意图

由于电池技术对标准性能指标的要求越来越高，对正极、阴极和电解质材料的研究已经主导了当前的研究，因此，我们对这些材料的理解也得到了迅速的发展。欧洲杯足球竞彩像LiCoO这样的复合锂氧化物₂,描写₂O₄，和生活₄例如，通常用于形成阴极。相反，阳极通常由石墨或Li金属等碳基材料组成。欧洲杯足球竞彩

阴极和负极材料是层状结构，在保留其结构的同时欧洲杯足球竞彩插入和脱插入锂。在薄膜电池中是固态的电解质，必须是有效的离子导体，良好的绝缘体，并能生产出重量轻、寿命长和安全的电池。最终，这取决于所用材料的组合。欧洲杯足球竞彩虽然电解液通常是由氮化锂磷(LiPON)制成，但研究表明，陶瓷，如锂镧锌氧化物(LLZO)和锂镧钛氧化物(LLTO)可能是更有效的材料。欧洲杯足球竞彩

埃斯特罗姆工程电池沉积系统

eninstrom工程提供他们的电池沉积系统，它允许各种电池材料的沉积，包括锂的热蒸发和陶瓷和锂氧化物的溅射。欧洲杯足球竞彩

这种全功能系统是为合作伙伴进行的定制创建，并将专用的锂热蒸发，锂氧化物多源溅射，快速热加工集成到超高纯度氩气环境中，以提供理想的过程灵活性，易于物料处理和安全性欧洲杯足球竞彩．

埃斯特罗姆工具可以与手套箱结合，因此衬底和材料处理可以在惰性气氛下实现。最终，这些系统能够满足一系列独特的工艺要求，易于材料处理和安全。欧洲杯足球竞彩

这些信息来源于Angstrom Engineering提供的材料。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问埃克斯特罗姆工程．