化学气相沉积或CVD是一组涉及从气态沉积固体物质的过程的总称，在某些方面与物理气相沉积(PVD)相似。 PVD的不同之处在于前体是固体，要沉积的材料是从固体目标汽化而沉积到衬底上。 CVD过程的类型CVD包括以下过程: •大气压化学气相沉积 •低压化学气相沉积 •金属-有机化学气相沉积 •等离子体辅助化学气相沉积(PACVD)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD) •激光化学气相沉积 •光化学气相沉积 •化学蒸汽渗透(CVI) •化学束外延(CBE) CVD是如何工作的?前驱气体(通常在载气中稀释)在大约环境温度下被送入反应室。当它们经过或接触到加热的衬底时，它们发生反应或分解，形成固态，并沉积在衬底上。衬底的温度是关键的，它会影响将要发生的反应。 涂层的特点CVD涂层通常有: •细粒度的 •不透水 •高纯度 •比使用传统陶瓷制造工艺生产的类似材料更硬欧洲杯足球竞彩 CVD涂层通常只有几微米厚，并且通常以相当慢的速度沉积，通常是每小时几百微米的量级。 CVD装置一个CVD仪器将由几个基本部件组成: •气体输送系统。用于向反应堆室提供前体 •反应堆室-在其中发生沉积的室 •基板加载机构-引入和移除基板、芯棒等的系统 •能量来源-提供使前体反应/分解所需的能量/热量。 •真空系统-去除除反应/沉积所需要的其他气体物种的系统。 •排气系统。从反应室中去除挥发性副产物的系统 •废气处理系统——在某些情况下，废气可能不适合释放到大气中，可能需要处理或转化为安全/无害的化合物。 •过程控制设备。监控过程参数如压力2020欧洲杯下注官网、温度和时间的仪表、控制装置等。警报和安全装置也包括在这一类。 能源对于CVD过程有几个合适的热源。这些包括: •电阻加热，例如管式炉 •辐射采暖，例如卤素灯 •射频加热，例如感应加热
•激光 其他能源可能包括作为光能来源的紫外线-可见光或激光。 前体欧洲杯足球竞彩在CVD过程中，材料从气态沉积下来。因此，CVD过程的前驱体必须是易挥发的，但同时足够稳定，能够被送到反应器。 通常前体化合物只会为沉积材料提供一种元素，其他元素在CVD过程中挥发。然而，有时前体可能提供不止一个。这些材料简欧洲杯足球竞彩化了传递系统，因为它们减少了生产给定化合物所需的反应物的数量。 正规的艾尔前体材料欧洲杯足球竞彩CVD前驱体材料可分为以下几欧洲杯足球竞彩类: •卤化物,TiCl4, TaCl5, WF6等 •氢化物-硅4, GeH4, AlH3.(NMe3.）2,在北半球3.等 •〇金属有机化合物 •金属烷基- AlMe3.Ti (CH2tBu)4等 •金属醇氧化物- Ti(OiPr)4等 •金属二烯酰胺- Ti(NMe2）4等 •金属二酮酸盐-铜(acac)2等 •金属羰基- Ni(CO)4等 •其他-包括一系列其他金属有机化合物，配合物和配体。 欧洲杯足球竞彩可以用化学气相沉积工艺生产的材料CVD是一种非常通用的工艺，几乎可以用于加工任何金属或陶瓷化合物。其中包括: •元素 •金属和合金 •碳化物 •氮化物 •硼化 •氧化物 •金属间化合物的化合物 化学汽相淀积气产品挥发性气体是化学气相沉积过程中经常被忽视的副产品。然而，这些气体可能是有毒的，易燃的或腐蚀性的，因此必须适当处理。 对废气的分析还可以帮助我们更好地理解CVD反应机理和用于改进过程的信息。 应用程序CVD的应用范围很广，例如: •涂层。用于各种用途的涂层，如耐磨、耐腐蚀、高温保护、腐蚀保护及其组合。 •半导体和相关器件。集成电路、传感器和光电子器件 •致密结构件——CVD可用于生产传统制造技术难以或不经济的组件。通过CVD生产的致密零件通常是薄壁的，可能沉积在芯轴或成形器上。 •光纤。电讯用 •复合材料。可以使用CVD技术对预制体进行渗透，以生产陶瓷基复合材料，如碳碳、碳碳化硅和碳化硅-碳化硅复合材料。这个过程有时被称为化学蒸汽渗透或CVI。 •粉末生产。新型粉末和纤维的生产 •催化剂 •纳米 |