为什么VUV系统需要高真空

低于紫外线范围的波长有几个不同的名称。然而，由于空气的吸收到非常少的纳米级和需要疏散环境实验的任何部分，这个特殊的光谱范围被称为真空紫外线(VUV)。

VUV区域被紫外(UV)光谱区域(200 nm)或硬x射线区域(约1 nm)的较长波长一侧所包围。有三个关键区域组成了特定的真空紫外线领域。这些都是:

• 远紫外(FUV): 200-120 nm
• 极紫外光(EUV): 120-10 nm
• 软X射线(Soft X): 15-0.2 nm

每一个领域都有它自己的物理意义:-

远紫外范围结束于120nm左右是指阻止辐射通过任何窗口材料的天然屏障。x射线中的光学反射率很低，这意味着它们需要使用高达170°的大偏移角，因此掠角非常低。

图1所示。真空紫外领域。

在哪里真空紫外线辐射它们至少可以部分地通过透明气体传播，如氢或氮，最理想的情况是，完全通过真空。

为了达到最好的结果，VUV分析需要使用高真空(~10^－6mbar 10^－4Pa)级，通过超高真空(~10⁹mbar 10^－7Pa)。

VUV使用哪些单位?

能源

光子的能量E、频率n和波长λ之间有以下关系:

E = hν = hc/λ

电子伏特转换:E (eV) = 1240/ λ (nm)

真空及真空元件

真空的质量直接与系统内剩余粒子的数量有关。欧洲杯猜球平台其他因素包括气体分子相互碰撞前必须移动的平均距离。这个特殊的因素是真空度本身的关键决定因素。因此，通过抽气室增加分子之间的距离可以改善真空的质量。

压力

帕斯卡(Pa)是国际压力单位(SI)。这就等于1 N/m2的力。CGS单元被称为Bar (Bar)是经常使用的，它也可以测量托尔(Torr)或大气压(Atm)的真空压力。

专业人员倾向于使用诸如百帕斯卡(hPa)和毫巴(mbar)这样的单位进行转换，因为这些单位更容易用一个近似的因子转换成托尔斯。下面高亮显示的单位转换近似是最普遍接受的。

真空范围

• 低(粗糙)真空大气压力为1mbar
• 中真空1 ~ 10^－3mbar
• 10 .高真空(HV^－3到10^－8mbar
• 10 .超高真空(UHV^－8到10^-12mbar
• 超高真空(特高压^-12mbar

大多数VUV应用程序可以在高真空水平下进行(10^－5到10^－6mbar或10^－3到10^－4(Pa)，它的目标是一个非严格真空，因此留下电子、光和粒子的自由通道。欧洲杯猜球平台这适用于薄膜的沉积、光谱发射、半导体和大多数通过吸收或反射方法获得的表征。

图2。高真空(高压)。

更专业的研究领域，如自由电子激光或同步加速器，电子科学或聚变研究可能利用超高真空。欧洲杯线上买球这尤其在残留气体或分子造成污染的情况下。

图3。超高真空(特高压)。

这些信息来源于HORIBA Scientific提供的资料。欧洲杯足球竞彩

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