有一系列的光源可以用于真空紫外光谱系统，尽管最常用的是同步加速器，自由电子激光器和激光产生的等离子体光源。下面将进一步探讨这些问题。
同步加速器(SR)
同步加速器辐射设备可以将微波(特别是驱动射频场的谐波)强大的连续辐射传递到x射线光谱区域。它们是由高能电子产生的，在存储环的磁场中向心加速。然后这些光束被准准直和偏振。
.png)
图1所示。格勒诺布尔的ESRF同步加速器(法国)
在全球范围内少于一百个同步rotron设施，虽然这是迄今为止建造的最强大的光源，也许也是最昂贵的光源。Synchrotron设施在尺寸方面是巨大的，每个直径为数百米，由于其复杂的操作系统而提供强大的超高真空环境。
自由电子激光器（FEL）
的自由电子激光（FEL）是第四代同步技术。这种类型的激光使用在穿过极长的波浪器之前加速到光速的电子 - 用磁体制成的线性阵列。因为磁铁的极性替代，所以电子的路径变为正弦。这导致辐射的产生。
FELS具有许多相似之处与更复杂的同步额，例如它们的权力，排放区域，大小和相对成本。另外，可以调整这些激光器以在微波到X射线的一系列光谱上工作。
激光产生的等离子体（LPP）
当强大的脉冲激光聚焦到实心目标上时，产生激光产生的等离子体。在此过程中，产生高密度（〜1021cm-3）和高温（50〜100eV）等离子体，仅适用于几纳秒。
.png)
图2。等离子体放电源
某些目标材料产生强大的VUV准欧洲杯足球竞彩连续体，主要是完整的离散线，在4至30纳米地区的Continua更强烈，但定期达到180nm。当使用周期性表或其邻近金属的稀土元素时，此过程提供更好的结果。
LPP与此处讨论的其他方法相比，提供有限的发射范围，因此这些方法通常在半导体工业（微光刻）和天文中使用。
弧形，火花和放电
许多VUV光源发出连续辐射和/或VUV线路。这些基于高压弧，气体排放，低压和真空火花。
这些特定的来源提供低成本和便携性，但不像激光诱导的等离子体或同步辐射那样强烈。可用选项包括： -
- 氩微弧:从近紫外到约115纳米
- H2和D.2放电波长:115~350 nm，灯泡材质不同
- 惰性气体放电:通过He、Ar、Kr和Xe产生的等离子体放电主要覆盖20 ~ 700 nm区域。有泵浦空心阴极、毛细管等离子体、Penning或Damany源。
| ． |
． |
． |
| 氘 |
115 - 400纳米 |
连续宽带图片 |
| 氢 |
115 - 700纳米 |
连续宽带图片 |
| 氩Mini-Arc |
115 - 700纳米 |
连续宽带图片 |
| 空心阴极 |
25 - 200纳米 |
发射照片（气体依赖）等离子体 |
| 等离子体放电(气体依赖) |
20-700 nm. |
排放照片（瓦斯依赖） |
此信息已采购，从Horiba Scientific提供的材料审核和调整。欧洲杯足球竞彩
欲了解更多信息，请访问HORIBA科学。