将焦点变化测量与古典地表计量进行比较

当必须检查表面质量和微观几何特征时，需要具有高分辨率的精确测量解决方案。与替代光学技术相比，焦点变化缩小了标准3D坐标测量技术和经典地面计量装置之间的差距。

简介投影仪

简介投影仪其他图像处理系统是当前光学测量系统的先驱，并且仍然与理解光学测量技术相关。配置文件投影仪扩展组件的曲面特性并将图像投影到屏幕上。通过使用模式匹配，将图像与适当的参考进行比较。

这种方法的好处是可以在秒内进行的测量值，但是几何特征的自动测量仅限于二维应用。一个关键缺点是其对对象放置的敏感性。取决于对准，可以获得矛盾的测量结果。

结构光

结构灯基于投影仪，将测量对象带有多个明亮和暗条纹，并用一个或多个相机捕获它。样品的形貌弯曲了投影仪的条纹图案。扭曲的图案用相机记录。最后，通过图像处理计算地形。

结构光的一个好处是测量大表面时的高测量速度。因此，该技术主要用于测量超大零件（例如：车身）。该技术具有限制为高分辨率子μm深度测量的适当性，例如，具有粗糙度测量。另外，低景深和对改变表面特性的高灵敏度显着限制了应用范围。

共聚焦测量

共聚焦测量以高横向分辨率为特征。精确地在检测器内的焦点处，使用添加的孔用于阻挡焦平面上方和下方的光。以这种方式，只有包含在焦平面内的光通过检测器。通过检测最强的信号来测量深度。共聚焦系统主要适用于可以在硅结构或半导体几何形状上找到的非常均匀的表面的测量。Z中高分辨率的优点是伴随着对振动的更大敏感性。

白光干涉仪（WLI）

白光干涉仪（WLI）利用干扰效应来定义地形特征。一个好处是高垂直分辨率。虽然粗糙表面很难测量，但该过程非常适合于评估镜片和玻璃结构。

焦点变化

焦点变化不仅收集有关深度的数据，还可以注册表面的真实颜色信息。微型和纳米结构的粗糙度测量了剖视和面积。通过来自各种视点的Real3D技术测量复杂的几何形状，然后将其组合成完整的3D数据集。通过测量一个系统中的尺寸，形式，粗糙度和位置，聚焦变化会减少典型的3D坐标测量技术和经典表面计量之间的差距。

与配置文件投影仪不同，没有测量轮廓，但组件的3D表面。虽然共焦系统和干涉仪仅测量系统围绕系统中心点的非常纤细的波段测量强度峰值或强度调制，聚焦变化在明显更大的区域上测量清晰度。结果，该技术更耐受振动。

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