如何将背散射和二次电子图像吗

这两个背散射电子(BSE)和二次电子(SE)主梁与样品相互作用时产生的。图像获得的样本和检测到这些发射信号可以包含信息组成(BSE信号)和地形(SE信号)的样本。

不过是很重要的问题,只是这些废话,SEs是如何形成的以及为什么他们携带这个特定的信息,以及是否有可能包括成分和地形信息在一个单一的形象,以灵活的方式。本文希望能回答这些问题。

作为主要的光束到达样品表面,发出二级和背散射电子可以检测并用来形成图像。二次电子产生的非弹性散射事件的主要电子与电子在样品的原子。

这是在左边的图所示。SEs低能量通常是50岁以下的电动汽车,这可以很容易地吸收。正因为如此,探测器只能收集二次电子薄顶层的一个示例。

相比之下,背散射电子是由弹性散射事件。当这种情况发生时,初级电子轨迹偏离由于与原子的原子核内的样本。这是下面右边的图。疯牛病通常有很高的能量,可以来自深处示例。

图1所示。形成二次电子(左边)和背散射电子(右边)。从非弹性散射事件SEs形成,而b是由弹性散射事件。

这些二次电子图像包含样品的地形信息。左边可以看到下图,这里的波束扫描的表面突出,当光束击中这突出的斜率,触摸的交互侧壁然后原因进一步摆脱表面二次电子。当光束到达平面面积,减少二次电子能够逃脱。

因为更多的二次电子发射的边缘,山坡,这导致亮度对比比平坦的地区,样品的形态为用户提供有用的信息。

相比之下,背散射电子发出的数量将很大程度上依赖于材料的问题,我们可以看到如下图的右边。例如,如果梁冲击硅原子(原子序数Z = 14),背散射电子会形成比如果光束击中黄金(原子序数Z = 79)。

这是因为金原子有更大的核,因此提供了一个更强大的影响轨迹的主要电子,从而导致一个更大的偏差。背散射电子图像可以提供有用的信息样本的材料不同。

图2。在左边,更能逃脱样品表面二次电子在边缘和斜坡上比在平坦区域。在右边,背散射电子的产生取决于材料的原子序数,生成更多的疯牛病在黄金(Z = 79)比在硅(Z = 14)。

Everhart-Thornley检测器(等)通常被用来收集二次电子。因为SEs低能量,一个网格在高潜力是放置在探测器前为了吸引他们。不过通常使用固态探测器收集疯牛病被放置在样品。

获得的图像通过要领和BSD探测器将包含信息分别在样本的形态和结构。

一些应用程序受益于信息样本的地形和组合在一个单一的形象,这可以通过添加两个探测器的信号。

混合疯牛病和SE图像

作为一个图像,光束扫描样品表面,由像素的像素。看到每个像素探测器和收集的信号转化为一个值,所以,如果在8位图像像素值的范围从0到255,而在16位图像获得的可能范围从0到65535的值。

像素的值是由二级或背散射电子发出的数量,价值更高的像素出现明亮的图像。所以,在样本的情况下见上图,左边的边缘将光明,因为更多的SEs散发和像素在那个位置会有更高的价值。

通过混合背散射和二次电子图像可以和这两个图像在一起。在实践中,SE图像中的每个像素总结在BSE图像相应像素使用以下公式:

比例是多少的百分比SE和疯牛病混合图像将携带的信息。等量的信息样本的地形和组合,比等于0.5。

下面左边的图显示了SE(上)和疯牛病(底部)太阳能电池的图片,白色区域说明银和黑暗的区域说明硅。SE图像可以清晰地看到样本的地形:可以看到银条的粒状结构容易在崎岖不平的硅表面。

自然,等探测器可能会捡一些疯牛病信号,原因是有区别的对比材料。欧洲杯足球竞彩

BSE图像内样本的地形不太明显但材料对比更加强。还可以看到一些脏粒子上的银条。欧洲杯猜球平台

混合的图像显示在下图的权利。在这种情况下使用比率为0.5,所以每个像素值包含50%的地形和50%的成分信息。所有的粒子具有不同欧洲杯猜球平台材料对比可见,带钢的表面粗糙度以及硅区域。

图3。混合图像的一个例子。在左上角,SE图像和在底部,太阳能电池的疯牛病形象,银色条纹(明亮的区域),可以区别于硅(暗区)。虽然地形SE图像携带信息,BSE图像材料的对比中占据主导地位。右边是导致混合图像使用比率为0.5。

混合成像脚本

能够生成并保存混合背散射和二次电子图像是一系列的应用带来巨大的收益。此外,能够积极设置SE:疯牛病比率是至关重要的在获得完美的图像,提供重要的信息给用户。

下图是一个杰出人才的结果脚本编程接口(PPI)比可以获得直接从疯牛病和SE图像杰出人才扫描电镜和混合在一起。甚至可以负载疯牛病和SE图像分别获得杰出人才的生成和保存前一个混合图像。

图4。用户界面的混合图像脚本,与PPI发达。

这些信息已经采购,审核并改编自Phenom-World BV提供的材料。欧洲杯足球竞彩

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