用于离子注入的金属组件

离子注入是半导体生产中的一个重要过程。为了改变材料的导电性、晶体结构和其他性质，通常在晶圆片中加入“外来原子”。欧洲杯足球竞彩植入系统的核心是光束路径，在这个路径中，离子产生、集中、加速并以极高的速度指向晶圆片。

在传统材料中，咄咄逼人的工艺气体、强大的电磁场、强大的机械力和高达1400°C的温度会导致多种问题。欧洲杯足球竞彩相反，PLANSEE的组件，由钼、陶瓷、石墨或钨制成，提供卓越的耐热性。

它们的耐腐蚀性，高导热性，绝对纯度和材料强度相结合，使这些组件优于100或更多PLANSEE金属组件可以在每个光束路径的工作中找到。这些元件确保离子不受污染物的污染，有效地生成，并沿光束路径定向到晶圆片上。

PLANSEE在半导体行业拥有超过30年的经验，公司在日本和美国的工厂生产的组件都符合OEM标准。

PLANSEE在优化形状和材料组成时考虑了设备制造的原始备件，确保降低清洗成本，延长使用寿命2020欧洲杯下注官网，简化组件的安装和拆卸，减少停机时间，并减少所需的维护工作。

PLANSEE认识到工艺的可重复质量是至关重要的，因此，开发先进的材料，并照顾制造工艺的每个元素，从金属粉末，直到完整的产品。欧洲杯足球竞彩

PLANSEE为半导体行业提供以下产品:

• 阴极(钼、钨及合金)
• 室(钼、石墨、钨及合金)
• 电弧缝(钼、石墨、钨及合金)
• 钨丝(钨及钨合金)
• 支架(钼、钨及合金)
• 分析器组件(石墨)
• 绝缘体(陶瓷)
• 端站(石墨)
• 备件(钼、石墨、钨及合金、钢、陶瓷)

使用PLANSEE MRS vane降低成本

在有可能改进标准、降低成本和时间承诺的地方，PLANSEE可以为客户提供先进的标准解决方案，并提供改进和廉价的备件供客户使用。

MRS板符合OEM标准

改进设计，延长使用寿命

在离子注入(IIP)的整个过程中，离子没有正确的电荷或质量，因此被MRS叶片过滤掉，只有通过质量分辨槽的离子能够沿着光束路径进入晶圆片。

MRS叶片遭受磨损时，离子束碰撞，但这是最小的角度在侧面。然而，当IIP过程中涉及到化学反应和磨损时，它们越大，相应表面的角度就越严重。通常情况下，OEM标准件采用92°角。

然而，PLANSEE确实会特别注意，通过建造离子束以近乎直角的力量撞击的区域，来额外增强原始组件。相反，边缘的区域，通常只受热和化学反应的影响，只产生浅角度。

PLANSEE对他们使用的材料具有高度的鉴别力，以确保正确的产品交付给客户。欧洲杯足球竞彩传统的石墨在加工过程中，由于其粗晶结构，会导致高水平的颗粒形成。这种类型的杂质会对小型结构的电子部件造成严重的问题。

为了避免这样的问题，PLANSEE提供坚固耐用的石墨，不易磨损，因此在加工过程中减少了颗粒的形成。欧洲杯猜球平台

你所有需求的单一来源

为了保证客户享受到高质量的产品，PLANSEE从原材料到最终产品的所有阶段都参与了产品开发。欧洲杯足球竞彩

这些信息已从PLANSEE提供的材料中获取、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问PLANSEE。