如何使用SEM成像？

自动化扫描电子显微镜（SEM）成像可以节省经常使用SEM的研究人员的时间，并且可以在许多不同的应用中使用自动化。本文将探讨自动化SEM成像的真实应用 - 测试激光诱导的损伤阈值（LIDT）。

强大的激光会损坏系统的光学部件，如纤维，光学涂层和镜子。为了确保系统有效地运行，确定系统可以应对的激光功率以及激光功率会损坏系统或改变其光学行为的重要性是重要的。

图1：BSD激光诱导损伤光学涂层的SEM图像。

LIDT测试用于确定损害特异性激光剂量的程度。LIDT测试涉及将光学部件暴露于网格图案中的不同波长和激光的强度。

在这种暴露之后，使用光学和SEM显微镜检查用于损坏的组件。一个样本可以包含数百个不同的网格点，用于个人检查需要很长时间才能手动检查。因此，通过SEM运行自动​​化LIDT测试可以节省大量时间。

采用自动SEM图像

通过可编程接口，可以使用LIDT网格中的每个点使用SEM自动获取图像的脚本。该脚本配备了激光器创建的网格坐标。在校准阶段之后，系统可以在所需放大率下自动图像自动图像。

图2：LIDT扫描脚本的用户界面：小红色和绿色点表示光学涂层暴露于激光的点。

捕获的图像保存在专用文件夹中以供稍后检查。如果必须检查特定网格位置，则可以通过用户界面轻松识别这一点。使用此方法允许研究人员致力于分析更多时间，并且需要更少的操作图像采集所需的时间。

自动化SEM成像节省了大量的时间，这意味着所有研究人员现在都必须做到每张图像并检查损坏。

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