扫描电子显微镜(SEM)在许多不同的应用程序可以使用样本的观察nanostructural特性不需要广泛的样本准备。一些样品分析的样品必须先溅射镀膜的SEM图像所需的质量。
本文将介绍溅射镀膜工艺样品需要溅射镀膜。
溅射镀膜过程
扫描电镜成像能力的许多不同的样本类型包括半导体、金属和合金、聚合物、陶瓷和生物样本。可以更加困难一些样品图片,必须溅射涂以确保高质量的图像可以采取。
溅射涂料是涂料样品薄层(大约10海里)的导电金属如铬、铂、金或银。
溅射包括与重粒子轰击的金属涂层,从而侵蚀和喷射原子。欧洲杯猜球平台当两个电极之间的弹射控制(利用辉光放电过程),它可用于外套目标材料。
溅射条件严格,必须使用一个适当的电离气体。取决于目标金属轰炸示例可以涂在钯,铂、金或银。
样品需要溅射涂层
Beam-Sensitive样品
Beam-sensitive样品分析之前必须溅射镀膜。然而大多数beam-sensitive样品生物聚合物样品也梁敏感。
用于扫描电镜成像的电子束的能量高,这意味着它加热样品成像。如果样品是热或电子敏感成像期间可能会有损坏。溅射涂层样品由电子束保护它免受伤害。
绝缘材料欧洲杯足球竞彩
绝缘材料也可以溅射镀膜提高扫描欧洲杯足球竞彩电镜拍摄的图像。绝缘材料能像一个电子陷阱,这意欧洲杯足球竞彩味着电子聚集在其表面通过过程称为充电。充电极白色区域的扫描电镜图像(图1),影响图像分析。
明亮的白色工件的去除经常通过减少室的真空度,鼓励带正电的分子在样品表面的积累。
电子光束相互作用的积极分子和中和这意味着充电不发生。虽然这个方法图像质量降低是由于更多的室中气体分子的存在。
一个更有效的方法溅射镀膜给它一个导电涂层的样品。这个涂层允许带电电子电离开的材料。图1 b显示了溅射涂层样品黄金删除充电的效果。
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图1:a)影响绝缘样品和收费b)BSD成像后的这个示例10 nm黄金涂层。
对于某些应用程序溅射涂层可用于提高图像的分辨率和质量。高导电性的金属涂层可以导致一种改进的信噪比,即产生一个更清晰的图像。
溅射镀膜的缺点
溅射涂层也并非没有缺点。首先,它代表了一个额外的步骤,这就需要更多的时间和精力比简单地加载在扫描电镜样品,和过程技术要求最优涂料参数设置。
最大的缺点是,样品表面的隐形涂料,意思样品原子序数信息丢失的信息。此外,在某些情况下的地形表面可以调整,或不正确的原子信息可以收集。因为这个原因控制溅射参数是至关重要的,以确保这些问题是可以避免的。
如果研究人员熟悉这项技术进行溅射涂层它仍然是一个有用的方法,确保高质量的扫描电镜图像。
应该使用哪个层?
溅射镀膜是金的传统最喜欢小粒度,有助于高分辨率成像,具有高导电性。在这种情况下,EDX分析需要碳是一个流行的选择涂料作为碳x射线峰值不干扰其他元素的信号。
作为溅射镀膜越来越流行不同的金属被用作涂层材料。铬、钨或铱是超高分辨率成像的常用选择极细晶粒大小。其他受欢迎的涂料是钯和铂;用银也成为一个受欢迎的选择,因为涂层过程是可逆的。
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