等离子体光纤扫描电镜在OLED显示屏上的应用

有机的发光二极管(oled)是一种平面发光技术,由排列在两个导体之间的一系列有机薄膜组成。当施加电流时,它们会发出明亮的光。由于oled是一种不需要背光的发射显示屏,因此与需要白色背光的LCD显示屏相比,oled更高效、更薄。

OLED显示器的另一个好处是它们是灵活的。因此,OLED技术最近在当前的展示市场中非常普遍。目前,OLED显示器是用于片剂,手机,可穿戴设备和电视的批量生产。

OLED或AMOLED显示屏

有源矩阵OLED或AMOLED显示器是一种OLED显示器,它有一个薄膜晶体管的后面板,这个属性使像素控制更容易和更准确。正是这一特性使得AMOLED技术成为大尺寸显示器的理想选择。与传统的玻璃显示屏相比,塑料AMOLED面板更轻更薄,可以使用更大的电池或更薄的设备。此外,下一代柔性显示器将使可折叠移动设备成为可能。目前,两大主要领域是智能手机和可穿戴设备,如智能手表。然而,随着技术的进步,将这些显示器用于其他应用,如汽车显示器,将成为可能。

OLED / AMOLED显示器的物理故障分析可以高度复杂,因为存在诸如ITO,聚酰亚胺,有机层,玻璃,Al电极和其他物质基本上彼此不同的物理性质的其他金属的存在性高度复杂。欧洲杯足球竞彩这些材料以非欧洲杯足球竞彩常薄膜的形式布置,其厚度即使在纳米级中也有变化。

用于检查显示器中的故障的建立方法是在显示器上的特定位置准备横截面,从而允许对这些多层结构进行详细检查。随后,使用高分辨率扫描电子显微镜成像检查横截面,这使得能够解析这种薄层以找到可能导致显示故障的可能制造的制造伪影或缺陷。

在显示器中制备截面的一种标准方法是使用机械抛光。尽管这种技术允许快速制备大面积的横截面,但它也有一些局限性,比如会导致严重的人为影响,如撕裂、机械应力、分层,甚至完全破坏显示屏的一部分。

的TESCAN S9000X是Xe等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜已经一切准备大面积截面在显示器可以一样大1毫米宽,同时提供高分辨率和异常对比度较低的光束能量需要形象和解决这些小而精致的结构显示。样品修改,S9000X伴随着新的iFIB +™Xe血浆FIB列可能意识到一个非常大的视野没有匹配的市场(在30 keV 1毫米),一个关键特性,结合铣削利率离子束电流高可能与Xe血浆FIB -允许在显示器(以及其他大型结构如MEMS、TSVs、bga等)中制备超大截面。

因此,Tescan S9000x可用于在几小时内容易地制备1mm宽,高质量和无伪像的横截面,可以使用传统的GA FIB实现的东西永远无法实现。关于成像,下一代Triglav™超高分辨率SEM色谱柱具有增强的内光检测系统,具有扩展的检测能力(能量滤波轴向信号检测),提供了优异的对比度和改善的灵敏度,具体地低光束能量,这是解决纳米尺寸特征和显示器中的薄层所必需的。

如图1所示,在离子束电流为2µa,束流能量为30 kV的条件下,制备了深187µm,宽1086µm的横截面。柱状中角BSE探测器提供了显示器内部金属层的高对比度图像(图2和图3)。

1086-μm宽的横截面,通过OLED显示器的一部分,SE检测器为2?KV。

图1。1086µm宽截面通过部分OLED显示屏,SE检测器在2 kV。

OLED显示顶部钝化部分垂直结构的详细图像/Al电极/聚酰亚胺/ITO/聚酰亚胺。2?kV的中角BSE检测器。

图2。OLED显示顶部钝化部分垂直结构的详细图像/Al电极/聚酰亚胺/ITO/聚酰亚胺。2kv中角BSE探测器。

Al接触和SiO2/SiNx层结构的详细图像。2?kV的中角BSE检测器。

图3。Al联系人和SiO的详细图象2/罪X层结构。2kv中角BSE探测器。

Tescan USA Inc.

特斯拉于1991年由一群来自特斯拉的管理人员和工程师创立,其电子显微镜的历史始于20世纪50年代,今天的特斯拉是全球知名的聚焦离子束工作站,扫描电子显微镜和光学显微镜的供应商。TESCAN的创新解决方案和与客户的合作性质使其在纳米和微技术领域处于领先地位。该公司自豪地参与了在一系列科学领域的著名机构的首要研究项目。TESCAN在价值、质量和可靠性方面为客户提供一流的产品。TESCAN USA inc .)的北美手臂TESCAN奥赛控股一家跨国公司合并建立的TESCAN捷克公司,全球领先供应商的sem和聚焦离子束工作站、物理奥赛和法国公司,世界领先的定制的聚焦离子束和电子束技术。

此信息已采购,从Tescan提供的材料进行审核和调整。欧洲杯足球竞彩

欲了解更多信息,请访问Tescan.com.

引用

请使用以下格式之一在您的论文,纸张或报告中引用本文:

  • 美国心理学协会

    TESCAN USA Inc . .(2020年1月27日)。等离子体光纤扫描电镜在OLED显示屏上的应用。AZoM。2021年6月26日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=17164获取。

  • MLA.

    TESCAN USA Inc . .在OLED显示器中使用等离子体FIB-SEM进行超大截面扫描。氮杂.2021年6月26日。< //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=17164 >。

  • 芝加哥

    TESCAN USA Inc . .在OLED显示器中使用等离子体FIB-SEM进行超大截面扫描。AZoM。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=17164。(访问2021年6月26日)。

  • 哈佛

    Tescan USA INC .. 2020。等离子体光纤扫描电镜在OLED显示屏上的应用.Azom,浏览2021年6月26日,//www.wireless-io.com/article.aspx?articled=17164。

问一个问题

关于这篇文章,你有什么问题要问吗?

离开你的反馈
提交