什么是光谱椭圆形测定法？

由半ilab半导体物理实验室2019年1月21日

椭圆形是总光学测量方法。该技术用于通过介质时测量光的极化变化。由于反射期间的层结构，偏振光表现出变形，这允许用户在该结构中提取介质的材料特性。

畸变偏振可以通过多种技术来确定，其中不同的光学元件调制光的偏振。Semilab采用了最先进的旋转补偿器布局，其中高端的宽带补偿器引入了依赖于旋转角度的可变相移，以便在光谱上建立椭偏元件。

由于椭偏仪是一种间接计量技术，需要对实际结构进行建模和参数拟合来提取厚度和折射率值。Semilab的光谱椭圆形测定法分析仪（SEA）软件提供广泛的技术，为实际结构和强大的算法创建模型，以适应模型参数以获取感兴趣的值。

光谱椭圆形测量技术具有许多益处。首先，它是一种光学方法，意味着它是非接触和非破坏性的。使用多层结构，可以计算每个层的厚度和光学功能。

基于测量穿过层结构的光束的相移，使其具有高灵敏度，并且相角测量不依赖于光的绝对强度。可以通过利用白光源和单色器来获得关于样品的光谱信息。

通过的复杂菲涅耳反射系数的比率通过椭圆形测定法．它可以被划分为幅度术语，因为它是复数，并且相移术语对应于椭圆形测量角，ψ和Δ。这些参数包含层结构的物理性质，例如层厚度和折射率。

这是一个超越的高度非线性方程，因此必须使用基于模型的方法，使用数值技术来解决它。在整个过程中考虑了模型中的层结构，包括厚度和光学函数。在数值回归过程中，确定相对相移并与测量量进行比较。

特性

可以在以下情况下执行非接触和非破坏性光学测量：

这些信息来源于Semilab半导体物理实验室提供的材料。欧洲杯足球竞彩

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半ilab半导体物理实验室。（2021年3月25日）。什么是光谱椭圆形测量？AZoM。6月29日，2021年6月29日从//www.wireless-io.com/article.aspx?articled=17486中检索。
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