椭圆形测定孔隙瘤(EP)测量材料的厚度和光学性质的变化在减压下,根据施用(EP)或大气压(EPA)在减压下减压。欧洲杯足球竞彩
这EP技术是独一无二的,因为它可以测量极其薄膜的孔隙率下降至10nm,其测量和再现性的速度。与传统的孔隙率计相比,椭圆升降器孔仪对于极其薄膜孔径和孔径分布测量非常匹配。
在利用低k材料的硅基技术、有机工业(封装OLED)以及利用SolGel技术的涂层工业中,欧洲杯足球竞彩薄膜的孔隙率是一个关键因素。椭偏孔隙率(EP)技术是Semilab独家授权,并获得IMEC专利。
在有机溶剂的吸附循环期间,椭圆磁性孔隙仪(EP)通过光谱椭圆形测量(SE)测量多孔薄膜光学性质和厚度的变化。由于材料中的孔被吸附填充,因此发生了这些变化。
从整个吸附循环中测量的折射率和厚度行为,可以推导出某些层性质:
- 疏水性(漏水)
- 杨氏模量
- 孔隙度
- 孔径分布和特征孔径
- 扩散系数
Semilab提出了两种类型的吸附周期设置:
- 在常压下,(EPA)以水为溶剂
- 在真空(EP)下有许多不同的有机吸附(甲醇,乙醇,甲苯,IPA,水等)。
该技术可以访问Meso孔隙率(2>孔径> 50nm)和微孔隙率(孔径<2nm),并且根据仪器构造,可以在10nm至几μm的层上使用。
与传统的多孔仪相比,EP不需要刻划薄膜或制备样品,非常适合于极薄膜孔径和孔径分布的测量。这是一种独特的技术,因为它可以测量单层和多层薄膜结构的孔隙率,具有良好的测量速度和再现性。
应用程序
这EP技术具有许多益处,因为薄膜孔隙率是使用低k材料或多孔硅膜的硅基技术的关键因素,有机电子具有屏障层的渗透性,用于OPV或OLED(封装),光伏用金属氧化物(SiO)欧洲杯足球竞彩2,Tio.2,W.2O.3.用于染料敏化太阳能电池,除了使用溶胶技术在涂料工业中使用。
特性
EP技术提供精确且可靠的测量:
- 多孔薄膜如超低K、多孔硅、纳米颗粒层、金属氧化物层或屏障层的孔径分布和杨氏模量的完整性
- 密封效率
- 孔隙度
- 厚度
- 折射率
- 扩散系数
该信息的来源,审查和改编材料由Semilab半导体物理实验室提供。欧洲杯足球竞彩
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