电子显微镜中的等离子体清洗-行业的变化

在这次采访中，亚速姆向XEI Scientific的创始人罗恩·瓦恩（Ron Vane）讲述了电子显微镜中蒸发等离子体清洗20周年的情况。

XEI Scientific是如何开始的?

我曾在日立仪器公司从事SEM服务支持工程，并被要求寻找污染问题的解决方案。我找到了一种用氮气吹扫去除污染的方法。然而，在出售系统之前，我被解雇了。我知道有很多潜在客户对防污染系统感兴趣，所以我开始向他们销售我自己的系统。我不得不重新设计系统的工作方式，使其与我的日立解决方案不同。

1997年，我意识到我的技术需要改进。我注意到1995年发表的一篇论文，引用了一位研究人员在电子显微镜上安装了等离子清洗装置。这项研究是在一个政府实验室进行的，并获得了专利许可。我决定以这项技术为基础，并将其商业化，以便SEM用户能够使用它。

从那以后你是怎么前进的?

我找到了一家公司，可以为我提供RF等离子体技术，我需要开发这个系统。我们制造并销售了第一台Evactron^®射频等离子体清洗系统在1999年继续销售。在最初的三年里，我们很幸运每个月能卖出一套以上的系统，但这足以维持我们的业务，并让我们在显微镜界建立良好的声誉。

2003年，我的合作伙伴RF技术公司并入了一家母公司，他们停止了与第三方的合作。幸运的是，我们签订的合同允许我向他们购买生产技术。我扩大了XEI Scientific，我们开始了自己的制造。

我们于2003年开厂，并于2004年2月自行建造了第一台Evactron装置。我们慢慢地增加了销售额，改进了生产流程，创造了一个更好的系统。在这一点上，我们推出了5年保修，我们今天仍然有。我们仍在学习如何以最好的方式构建系统，我们最不想做的事情就是向我们的客户销售一个即将失败的系统。由于这种不断改进的理念，我们在质量方面建立了声誉。

公司从那时起是如何发展的?

我们倾听客户的需求和反馈，并继续改进我们的技术。为此，我们开发了我们的第一个可编程单元——我们的第一个微处理器控制单元于2008年发布，这仍然是我们的旗舰产品。

随着时间的推移，你们的技术是如何改进的?

2010年，我们开始研究Evactron系统，该系统比我们使用的系统在更低的压力/更高的真空下运行。我们希望在较低的压力下操作，因为在较低的压力下，由于氧自由基持续时间较长，清洗更有效。我们想改进我们的系统，这样我们就可以在新竞争者提供的类似技术上竞争。

竞争的好处是它迫使你开发出更好的产品。2012年，我们发布了第一款低压清洁产品，Zephyr。在2013年的春天，我们决定了一种简化系统的方法，这帮助我们降低了成本——这就是e系列。e系列采用固定的气体泄漏率，而不是基于气体压力的伺服控制流量，以产生等离子真空。

我们在2015年推出了e系列。一开始，我们遇到了一些意想不到的问题，系统在高真空下撞击等离子体。为了解决这个问题，我们改用了更高功率的外置空心阴极电源，这要干净得多Evactron E50. 该电源可以在更高的功率下工作，而不会过热或溅射损坏。

一如既往，我们将继续进一步开发我们的产品。我们已经引入了另一种新模式，它在利基市场中满足了一些特定的技术客户需求，也可以以较低的价格出售。等离子体清洗技术很快就会被几乎所有的业内人士所需要，无论他们使用的是钨丝显微镜还是场发射电子显微镜。由于销售将是高的，它应该有可能推动价格下降-我们想这样做，以便更多的用户可以负担得起清洁成像的好处。

XEI Scientific的未来是怎样的?

我认为等离子清洗必须简化。我们现在有了另一个竞争对手，他们有研究背景。这个竞争对手想要生产一个具有最大灵活性的机器，并释放一个可以测量等离子体密度和更多的机器——这可以用来优化等离子体清洗。我认为这是一个糟糕的方法，因为使用电子显微镜的用户只是想清洗它们，他们不想做等离子体研究。

我们提供的系统可用于每个人的清洁，而不是设计为研究赛车。我们生产的大众等离子清洗机-设计良好，价格合理，易于获得的产品。在过去的20年里，我们已经售出了近3000台。

XEI Scientific的总部在哪里？

我们在红木城加利福尼亚，它在旧金山和圣若泽之间，意味着我们在硅谷的中心。过去该地区有更多的仪器公司。我们曾经有瓦里安、应用生物系统公司、惠普和芬尼根作为邻居，尽管他们现在已经被更大的企业吸收。

对罗恩叶片

1991年，罗恩在日立担任服务支持工程师后，成立了XEI Scientific，以解决电子显微镜的污染问题。1997年，他开始从事等离子清洗工作，以清除碳氢化合物污染。1999年，他发明并引进了Evactron去污器，用于电子显微镜内部的远程等离子体清洗。

2003年，他将vactron系统的生产转移到自己的工厂。2008年，xie Scientific推出了微处理器控制单元。XEI Scientific于2011年发明了瞬变电磁法等离子体清洗系统。2013年，XEI Scientific完成了低压Zephyr vacutron的开发，进行流动余辉清洗。在测试过程中，他发现并发明了“Pop”等离子点火装置。2015年，XEI Scientific推出了价格低廉的E系列真空单元，具有“Pop”点火和流动余辉，能够立即从高真空启动，并在涡轮分子泵抽真空系统上运行。