纳米压力在生物领域的应用

由Sensofar计量2019年3月15日

在纳米生物压力传感器的发展，牺牲层蚀刻和两层薄膜的真空间隙密封，以开发Fabry-Pérot谐振器是非常重要的。此外，了解膜在制造过程中最初偏转的精确时间是至关重要的。

制备的压力传感器的SEM图像。条鳞1µm

图1所示。制备的压力传感器的SEM图像。条鳞1µm

测量

压力传感器是一个6 × 10 μ m芯片，由机械传感器和光学参考区组成，机械传感器的特征是由两个真空间隙分隔的多晶硅膜。这些薄膜作为平行反射镜，建立了一个Fabry-Pèrot谐振器，该谐振器对某些波长是部分透明的。外部压力P使薄膜偏转并改变间隙。这个装置被设计用来测量活细胞中不同成分的压力变化。

具有非折叠膜的装置(顶部)和具有折叠膜的装置(底部)。条鳞1µm

图2。具有非折叠膜的装置(顶部)和具有折叠膜的装置(底部)。条鳞1µm

目前，膜的挠度测量是在内化前使用扫描电子显微镜(SEM)进行的;而在扫描电镜下，样品必须处于真空压力下，这可能会改变其原始状态。

一个Sensofar光学分析器使快速和非侵入性测量膜偏转后的制造。芯片的尺寸只有几微米，但薄膜的曲率接近几十纳米，因此必须使用高倍放大率透镜。

压力传感器阵列从衬底释放前的三维地形图。

图3。压力传感器阵列从衬底释放前的三维地形图。

几种压力传感器的剖面分析。

图4。几种压力传感器的剖面分析。

6 × 10 μm释放压力传感器的三维形貌图。

图5。6 × 10 μm释放压力传感器的三维形貌图。

利用这种方法，可以快速、无损地测量密封前后释放膜的挠度，主要用于验证膜是否已经坍塌。在此之前，由于真空的存在，薄膜的挠度发生了变化，且挠度值不一致，需要通过扫描电镜进行检测。这些测量是使用Plµ2300使用共聚焦方法与100X亮场物镜获得的。

Sensofar设2020欧洲杯下注官网备提供非接触式三维表面轮廓仪基于三种技术:干涉法、共焦法和变焦法。有了Sensofar设备，高2020欧洲杯下注官网分辨率测量可以以非破坏性的方式快速进行，易于使用的软件可以提供必要的技术支持。

这些信息已经从Sensofar提供的材料中获取、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

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