一个3合1测量技术，可以实现差异

为什么3-in-1技术?

共聚焦

共焦轮廓仪的发展是为了测量表面的表面高度，从光滑到非常粗糙。这种共焦剖面提供了最大的横向分辨率;线间距可达0.14 μm。该分辨率可以降低到0.01 μm的空间采样，这是完美的关键尺寸测量。以便测量局部坡度超过70度的光滑表面^O.（粗糙的表面高达86^O.)，高NA(0.95)和放大率(150倍)物镜。专有的共聚焦算法在纳米尺度上提供垂直重复性。

干涉测量

相移干涉术(PSI)的创建是为了测量光滑和连续表面的表面高度，所有数值孔径(NA)，以亚埃分辨率。要测量具有相同高度分辨率的大视场，可以使用非常低的放大倍数(2.5倍)。

相干扫描干涉术(CSI)利用白光扫描光滑表面到中等粗糙表面的表面高度，在任何放大率下达到1nm的高度分辨率。

Ai焦点变化^新

主动照明焦点变化是一种光学技术，已经开发出测量大粗糙表面的形状。基于Sensofar在组合共聚焦和干涉测量3D测量中的广泛专业知识，本技术目的是为了在低放大率下补充共聚焦测量。使用主动照明具有改进的范围，即使在光滑的表面上也能提供更可靠的聚焦位置。该技术的能力包括高斜率表面（最多86个^O.)，最高速度(高达3mm/s)以及大垂直范围测量。

没有移动部件

Sensofar的共焦扫描技术是MicroDisplay扫描共聚焦显微镜（ISO 25178-607）。数据采集​​快速，准确且一致，因为微显示器创建不具有活动部件的快速切换设备。Sentofar的共焦技术提供了世界级的垂直分辨率，感谢此微透视及其相关算法，这是对所有其他共焦方法的改进，甚至是激光扫描共焦系统。

不同的功能

薄膜^新

利用薄膜测量技术快速、准确、无损地测量了透明层的厚度，而且不需要制备样品。该系统获取了样品在可见光范围内的反射光谱，并与软件计算的模拟光谱进行了比较，修改了层厚，直到找到最合适的层厚。该系统可以在1秒内测量50 nm ~ 1.5 μm的透明薄膜。物镜放大倍数可低至0.5 μm，最高可达40 μm，决定了样品评价光斑直径。

连续共聚焦

连续的共焦模式是共聚焦测量技术的开创步骤，其稳定地将采集时间减少了3倍。它同时扫描面内和Z轴，避免离散（效率和低效）平面逐个采集古典共焦。因此，在大面积扫描和大Z扫描中是必要的，用于减少采集时间。

HDR

高动态范围减轻了非常反射表面上的反射和辍学点。

聪明的噪声检测

S Neox使用SND，一种检测算法，检测某些像素，其中数据不可靠。与使用空间平均的其他技术相比，该过程通过S Neox进行了像素通过S Neox的像素，而不会影响横向分辨率损耗。

出色的横向和垂直分辨率

高分辨率

用于干涉测量法固定的仪器噪声取决于共聚焦的数值孔径，这限制了垂直分辨率。Sensofar专有算法为任何测量技术提供纳米级系统噪声，以最大可能的光学仪器的横向分辨率。所示的地形是亚域（0.3nm）原子层。礼貌的PTB。

DIC观察

差动干扰对比（DIC）用于强调常规观察中的小型高度特征无对比度。使用Normarski Prism创建干预图像，解析在BrightField或Concocal图像中不可见的子纳米刻度结构。

高斜坡

显微镜物镜的数值孔径(NA)限制了光学光滑表面的最大可测量斜率，而光学粗糙或散射表面提供的信号超过了这个限制。Sensofar算法可以测量71。在光滑表面(0.95 NA)，并高达86。在崎岖的样本。

此信息已采购，审核和调整由Sensofar提供的材料。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问Sensofar Metrology．