快速伺服驱动驱动速度测试

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制造半导体非常复杂,步骤耗时,设备昂贵。2020欧洲杯下注官网由于批处理,微电子工业可以以更合理的价格提供显著的计算能力。

批处理是指在大的晶圆上同时生产数百个相同的晶片。组件测试在此过程中是必不可少的,以支持质量保证和标准遵从。

Proaut Technology GmbH希望升级其PMA晶圆测试系列,希望实现每小时40000个组件的吞吐量。他们使用了Elmo运动控制公司的高效高性能伺服驱动器。

在PMA开始计算之前,晶圆片或面板必须安装在测试室内。PMA处理系统利用真空吸盘将组件载体从旁边的容器中取出,并将载体放置在旋转定位台上。

精确测量系统由工作台、提供晶圆位置反馈的视觉系统和收集实际测试数据的电子和光学测量头组成。该平台能够在X、Y和Z进行纳米级定位,并在ф中进行几分之一度的定位。

相机可以沿着Z轴进行自动对焦。在测量过程中,系统按顺序测试晶圆片的分段,收集测量值,然后推进并对准晶圆片,将测量头下方的下一个区域放置。

快速移动和稳定定位的问题是惯性会导致负载超调并围绕指令位置振荡(由于高加速度和小增量)。这样做的结果要么是在计算中引入误差,要么是使测量过程效率低下。

最初的PMA设计有一个惊人的吞吐量,每小时30,000个组件。为了达到每小时4万个组件的目标,product工程团队需要一种方法来提高现有机制的性能。

他们找到了解决办法埃尔莫金吹口哨伺服驱动器家族。Gold Whistle驱动器包含一个根据配置文件状态进行增益调度的函数。

在增益调度中,一种算法允许系统对单个控制器参数集进行分类,如比例增益(KP)、积分增益(KI)、高阶滤波器链路等,以提高系统在许多不同的应用条件下的性能。

在运行中,驱动器可以根据伺服驱动器的工作点立即从一组控制器参数改变到另一组。滤波有助于平滑改变控制器参数的影响,从而导致更快的稳定。

高效、紧凑

金哨伺服驱动器提供了许多其他好处。该应用程序包含高度协调的运动。晶片搬运轴必须与定位台配合,定位台的ф轴需要与X、Y、Z的定位紧密耦合。

这种运动控制需要精确、高速的现场总线连接。Gold Whistle驱动器可选择EtherCAT或CANopen。这些协议的超快周期时间和减少的抖动允许世界级的实时性能。

要达到这种协调程度,需要一个集中式控制体系结构,利用一个主控制器来管理各个独立轴的驱动器的操作。驱动器和控制器安装在一个集中的机柜中。该方法使集成和连接更加简单,但它确实存在挑战。

将6个驱动器封装在一个紧凑的封闭空间中可以锁定热量,随着时间的推移,热量可能会积聚,导致性能有限和电子设备过早故障。

在半导体行业,每小时宕机的成本高达数十万美元,因此团队需要缓解这个问题。Gold Whistle驱动功能的墙插效率超过99%,这减少了需要消散的热量。

随着设备的效率,驱动器也是一个理想的配合,字面上。2020欧洲杯下注官网它们紧凑的尺寸允许它们在一个更小的机柜中使用,从而减少机器占地面积。

PMA机器非常紧凑,有一个小型内部开关柜,Proaut Technology GmbH的总经理Thiol Wicht说。金口哨伺服驱动器的“迷你”尺寸对我们最新技术的机器非常有益。

Gold Whistle驱动器还具有车载情报功能。这有助于内置的安全功能,例如安全扭矩关闭(STO, SIL-3, IEC 61800-5-2)。STO允许驱动保持通电,同时将扭矩从轴上带走。

该组合加速重启,同时保护产品,操作人员和设备的安全。2020欧洲杯下注官网最后,Elmo应用程序工作室(EAS)为伺服电机和驱动器带来了统一的软件环境,使其易于调整系统,以适应过程或产品的变化。

增益调度技术提供了非常快速的稳定时间,Elmo黄金吹口哨驱动器帮助Proaut将其最新一代半导体测试平台的吞吐量提高了30%。其99%的效率驱动和紧凑的形式创造了一个高度可靠的解决方案。

产品工程团队对性能非常满意。”Elmo运动控制的伺服控制器完全满足我们的应用的所有标准,沃尔什说。”它们结构粗犷,预定用于我们的精密测量机.”

这些信息已经从Elmo运动控制有限公司提供的材料中获得,审查和改编。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息,请访问艾默运动控制有限公司

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  • 美国心理学协会

    Elmo运动控制有限公司。(2019年7月29日)。快速伺服驱动驱动速度测试。AZoM。于2021年10月20日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=18187检索。

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    Elmo运动控制有限公司。快速伺服驱动驱动速度晶圆测试AZoM.2021年10月20日。< //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=18187 >。

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    Elmo运动控制有限公司。快速伺服驱动驱动速度晶圆测试AZoM。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=18187。(2021年10月20日生效)。

  • 哈佛大学

    Elmo运动控制有限公司。2019.快速伺服驱动驱动速度测试.viewed september 20, //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=18187。

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