物理失效分析在MEMS运动传感器:1毫米宽的横截面执行与TESCAN S8000X

微电子机械系统(MEMS)可以被定义为微型化的机械和机电元件(即设备和结构)，它们是使用微细加工技术制造的。MEMS通常被用作驱动器、传感器、射频和微流控元件，所有这些都在医疗保健、汽车和军事工业等多个领域有着广泛的应用。

这些MEMS器件的性能可以与传统器件相媲美，甚至超过传统器件，但是体积更小，重量更轻，生产成本更低。然而，在制造和封装此类器件方面存在相当大的挑战。特别是，需要克服与产量和可靠性有关的各种问题。

图1所示。通过W2W型腔模具粘结层的多个截面的MEMS。

运动传感器的惯性结构一般由晶圆到晶圆(W2W)腔模组成。盖子用金属材料粘接在传感器上(图1)。常规故障分析包括检查粘接层中导致故障的制造缺陷。为此，需要在MEMS器件的特定位置制备大面积的截面。这些横截面通常是通过机械抛光来制备的，这种技术确实可以实现大面积的横截面，但另一方面，也会导致严重的人工制品，如分层、撕裂、机械应力甚至部分模具的完全破坏。此外，它很难保持一个良好的控制端点指向。

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TESCAN USA Inc .)

TESCAN成立于1991年，由特斯拉的一群管理人员和工程师组成，其电子显微镜的历史始于1950年，如今TESCAN是聚焦离子束工作站、扫描电子显微镜和光学显微镜的全球知名供应商。TESCAN的创新解决方案和与客户的协作性质使其在纳米和微技术领域处于领先地位。该公司很自豪地参与了一系列科学领域的卓越机构的首要研究项目。TESCAN在价值、质量和可靠性方面为客户提供一流的产品。TESCAN USA inc .)的北美手臂TESCAN奥赛控股一家跨国公司合并建立的TESCAN捷克公司,全球领先供应商的sem和聚焦离子束工作站、物理奥赛和法国公司,世界领先的定制的聚焦离子束和电子束技术。

这些信息已经从TESCAN提供的材料中获得、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

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